在機(jī)床行業(yè)，激光干涉儀是一個非常重要的工具，常用于數(shù)控機(jī)床精度檢測和補(bǔ)償。SJ6000
激光干涉儀測量平面度采用雙頻氦氖激光器作為光源。其精度高，抗力強(qiáng)，空氣湍流、熱波動等影響甚微，因此降低了對環(huán)境條件的要求，使它不僅能用于實驗室，還可在車間條件下測量大距離用。
系統(tǒng)組件
1、激光主機(jī)
精準(zhǔn)——激光頻率穩(wěn)定度高，可溯源至國家標(biāo)準(zhǔn)。
SJ6800激光主機(jī)由DC12V電源適配器供電，輸入電壓范圍在100V-240V之間皆可正常工作。
支持USB通信接口，可與計算機(jī)高速通信，兼容USB3.0接口和USB2.0接口。
配備的SCSI接口，可提供外部觸發(fā)信號輸入和正交信號輸出，以及其它擴(kuò)展應(yīng)用。
2、EC20環(huán)境補(bǔ)償單元
可靠——對空氣溫度、濕度、氣壓和材料溫度進(jìn)行自動環(huán)境補(bǔ)償。
激光干涉儀是以激光波長為載體，測量過程中環(huán)境條件（空氣溫度、濕度、氣壓）的變化會影響激光波長。
EC20環(huán)境補(bǔ)償單元可實時檢測環(huán)境條件的變化，同事進(jìn)行激光波長補(bǔ)償。
EC20環(huán)境補(bǔ)償單元可連接三個材料溫度探頭，監(jiān)測被測對象其材料的溫度變化，同事進(jìn)行材料的熱膨脹補(bǔ)償。
EC20環(huán)境補(bǔ)償單元采用低功耗設(shè)計，無需額外的供電電源，其工作電源集成于USB接口。
為了方便現(xiàn)場使用，EC20環(huán)境補(bǔ)償單元配備磁性掛板，溫度探頭的標(biāo)準(zhǔn)線長5m，亦可定制線長。
3、三腳架及便攜箱
其他組件
1、光學(xué)鏡組
（1）線性鏡組
應(yīng)用于機(jī)器軸的定位精度測量、重復(fù)定位精度測量和設(shè)備反向間隙測量等；也可用于機(jī)器軸的動態(tài)測量分析。
（2）角度鏡組
應(yīng)用于機(jī)器軸的角擺測量和轉(zhuǎn)軸的旋轉(zhuǎn)角度測量；亦可以用于轉(zhuǎn)軸的角速度和角加速度的動態(tài)測量分析。
（3）直線度鏡組
應(yīng)用于導(dǎo)軌或機(jī)器軸的直線度測量，包含水平方向和垂直方向的直線度。
（4）平面度鏡組
按照國標(biāo)方式進(jìn)行平面度的測量和分析，其平面度羈絆長度可調(diào)。
（5）線性附件-輕型線性鏡組
輕型線性鏡組包括縮光鏡和小角錐反射鏡，其中小角錐反射鏡重量僅為8g，可以直接在被測物體上，有效降低線性反射鏡過重帶來的影響。主要應(yīng)用于先行反射鏡的重量可能影響到被測軸系的機(jī)械性能或精度；線性反射鏡的尺寸遇到較為困難的裝夾場合；負(fù)載敏感的動態(tài)測量。
（6）大角錐反射鏡
應(yīng)用于機(jī)器Z軸方向的直線度測量或垂直度測量，起反射光束的作用。
（7）垂直度鏡組
應(yīng)用于兩條相互垂直的機(jī)器軸的垂直度測量場合。
2、其他附件
（1）線性附件-可調(diào)轉(zhuǎn)向鏡
能把水平射出的激光俯仰偏轉(zhuǎn)25°以上，結(jié)合線性鏡組可用于傾斜機(jī)床、三坐標(biāo)對角線的測量。
（2）磁性表座
科隙蛛在鋼鐵表面，通過轉(zhuǎn)動手柄，來轉(zhuǎn)動里面的磁鐵，特別適用于機(jī)床和導(dǎo)軌上面的安裝。配合安裝柱使用，可將安裝柱鎖緊在磁性表座上。
（3）直線度基板
用于機(jī)器Z軸的垂直度測量，需配合磕掉轉(zhuǎn)向鏡和大角錐反射鏡使用。
（4）輔助安裝塊
用于鏡組不能直接安裝的場合。配合磁性表座使用；也可以直接結(jié)合安裝柱使用。
（5）垂直度安裝附件
在測量機(jī)器Z軸垂直度時，用于安裝90°轉(zhuǎn)向鏡。
（6）夾緊孔座
用于鏡組的安裝和夾持，可緊固各鏡組在安裝柱上。
（7）90°轉(zhuǎn)向鏡
應(yīng)用于機(jī)器Z軸方向的直線度測量或垂直度測量，起偏轉(zhuǎn)光束的作用。
（8）安裝柱
主要用于夾緊孔座的安裝定位，可鎖在磁性表座或輔助安裝塊上。安裝柱可以相互對接延長，以便增加夾緊孔座的可調(diào)范圍。
SJ6000
激光干涉儀測量平面度集光、機(jī)、電、計算機(jī)等技術(shù)于一體，產(chǎn)品采用進(jìn)口高性能氦氖激光器，其壽命可達(dá)50000小時；采用激光雙縱模熱穩(wěn)頻技術(shù)，可實現(xiàn)高精度、抗力強(qiáng)、長期穩(wěn)定性好的激光頻率輸出；采用高速干涉信號采集、調(diào)理及細(xì)分技術(shù)，可實現(xiàn)高4m/s的測量速度，以及納米級的分辨率；采用高精度環(huán)境補(bǔ)償模塊，可實現(xiàn)激光波長和材料的自動補(bǔ)償；采用高性能計算機(jī)控制系統(tǒng)及軟件技術(shù)，支持中文、英文和俄文語言，友好的人機(jī)界面、向?qū)降牟僮髁鞒?、簡潔化的記錄管理?
