Agilent TwisTorr 304 FS 高真空渦輪分子泵采用 Twistorr 拖動技術和安捷倫懸浮軸承，具有高性能、高可靠性及經(jīng)濟性。TwisTorr 拖動技術對小分子氣體（如氫氣和氦氣）能提供高壓縮比，從而實現(xiàn)大抽氣量和高前級耐壓，進而能使用更經(jīng)濟實惠、更小型的前級泵。該技術使得轉(zhuǎn)子能采用緊湊的設計，變得高效節(jié)能，并能保持較低的工作溫度。安捷倫懸浮軸承系統(tǒng)降低了噪音和振動，并能保證穩(wěn)定的軸承工作條件，從而能延長工作壽命，縮短系統(tǒng)停機時間，并能確保長時間穩(wěn)定的抽氣性能。TwisTorr 304 FS 泵的軸承和干式潤滑劑設計，使得泵無需泵油和維護，能夠以任意方向安裝?？蛇x擇一體式控制器或機架控制器。

特性：

1.創(chuàng)新的TwisTorr技術—對小分子氣體能提供高壓縮比，而非常小巧的轉(zhuǎn)子設計則實現(xiàn)了高性能和小系統(tǒng)占用空間。

2.高前級耐壓—允許使用更小的前級泵，從而降低了系統(tǒng)成本和尺寸。

3.安捷倫懸浮軸承系統(tǒng)—低振動，低噪音，穩(wěn)定的軸承工作條件，延長泵的使用壽命，實現(xiàn)使用維護成本優(yōu)化，減少系統(tǒng)停機時間，并保證長時間穩(wěn)定的抽氣性能。

4.的軸承和干式潤滑劑—免維護、免油，實現(xiàn)任意角度安裝。

5.銅制水冷通道（可選）—可避免腐蝕，優(yōu)化熱傳遞性能，降低用水量和使用維護成本。

典型渦輪泵應用

安捷倫渦輪分子泵包括集成泵組和多流路泵，其設計旨在實際應用中達到更高性能。泵的緊湊型設計滿足工業(yè)中的嚴苛空間要求。渦旋分子泵幾乎不需要維護，并可避免錯誤使用。無論您是終端用戶還是原始設備制造商，安捷倫均可針對您的應用為您提供幫助和支持，或定制適合您的需求的系統(tǒng)。
典型渦輪泵應用

領域	詳細說明	應用
質(zhì)譜和分析儀器	針對質(zhì)譜系統(tǒng)優(yōu)化的全系列泵和控制器具有多入口泵組的定制泵低成本、易于使用、高分析性能對于 GC/MS，提供用于相對低氣體載荷環(huán)境的 1 個真空室和用于分析無機樣品的中等真空接口對于 LC/MS，需要提供多室、高通量真空系統(tǒng) 對于 ICP-MS，提供多種真空系統(tǒng)，包括用于氬氣等重載氣的泵和使用氦氣的碰撞池對于 TOF 系統(tǒng)，需要較小尺寸、高通量和高效的散熱設備	質(zhì)譜 GC/MS LC/MS ICP-MS TOF
科研中的真空應用	非常清潔、可靠和高性價比的 HV 和 UHV 粗真空軸承未暴露于 UHV，降低了污染高速和高壓縮可以以任意角度安裝聯(lián)用 Turbo-V 和 TriScroll 干式泵可泵送大量氣體	高能物理融合技術一般 UHV 研究同步光源粒子加速器
工業(yè)真空加工	為薄膜沉積應用而專門設計的集成分子泵解決方案適用于原始設備制造商和終端用戶的專業(yè)性能適用于具有預真空鎖或大型內(nèi)聯(lián)連續(xù)系統(tǒng)的單室批量系統(tǒng)和多室系統(tǒng)的泵	薄膜沉積：玻璃涂層設備（建筑和汽車玻璃，平板顯示器）薄膜太陽能電池生產(chǎn)（光電）光學數(shù)據(jù)介質(zhì)（CD、DVD、磁光光盤）磁性存儲介質(zhì) 表面處理光學涂層（眼科、精密光電）膜或箔上的輥式/卷繞涂覆設備加工：生產(chǎn)電視機和顯示器顯像管疏散燈（高速公路照明、投影機） X 射線管和電子設備一般工藝：真空爐/冶金
納米技術儀器	分析從有機化合物到半導體晶片等各類物質(zhì) 全系列的高真空和超高真空泵特別適用于要求嚴苛的 SEM、TEM 和表面分析系統(tǒng) 低振動渦旋泵適用于敏感的顯微分析可快速、無油式排空大型樣品室內(nèi)的氣體集成的泵控制器可靈活進行控制，幾乎不生成電磁噪音非常適合為半導體生產(chǎn)創(chuàng)造合適環(huán)境高轉(zhuǎn)速確保能夠以高泵速抽空半導體生產(chǎn)中釋放的輕質(zhì)氣體（He、H）符合高速循環(huán)應用的嚴格要求，例如真空裝載鎖通過對多個渦旋泵聯(lián)用一個前級泵，可提高工具的可靠性聯(lián)用 Turbo-V 和 TriScroll 干式泵可泵送大量氣體安裝于支架上的控制器或一體式控制器允許將電子設備放置于遠處	電子顯微鏡（SEM、TEM）聚焦離子束系統(tǒng) (FIB) 表面分析半導體制造

性能指標

技術規(guī)格

抽速：使用 CFF 6 英寸或 ISO 100：使用 CFF 8 英寸或 ISO 160：	N₂：250 L/s N₂：250 L/s	He：255 L/s He：255 L/s	H₂：220 L/s H₂：220 L/s	Ar：250 L/s Ar：250 L/s
全轉(zhuǎn)速氣載（使用推薦前級泵）環(huán)境溫度 (25 °C) 水溫 (25 °C，50 L/h)	N₂：170 sccm N₂：170 sccm	Ar：110 sccm Ar：110 sccm
壓縮比與前級壓力關系：	N₂：> 1 × 10¹¹ N₂：> 10 mbar	He：> 1 × 10⁸ H₂：> 10 mbar	H₂：1.5 × 10⁶ H₂：> 4 mbar	Ar：> 1 × 10¹¹ Ar：> 10 mbar
*極限真空（使用推薦的前級泵）** (5 m³/h)	< 1 × 10^–10 mbar (< 1 × 10^–10 Torr)
抽氣口法蘭	8 英寸外徑 CFF 2.6 英寸外徑 CFF	ISO 160 ISO 100
前級管道法蘭	KF 16 NW（KF25 — 可選）
轉(zhuǎn)速	60000 rpm（1010 Hz 驅(qū)動頻率）
啟動時間	小于 3 分鐘
推薦的前級泵	機械：Agilent DS 102 干泵：Agilent SH 110
工作位置	任意
操作環(huán)境溫度	+5 °C 至 +35 °C
空氣相對濕度	0%–90%（無冷凝）
烘烤溫度	抽氣口法蘭溫度 120 °C（CFF 法蘭）抽氣口法蘭溫度 80 °C（ISO 法蘭）
潤滑油	性潤滑
冷卻要求	風扇冷卻（環(huán)境溫度 5–35 C）水冷（如果環(huán)境高于 35 ℃，需強制水冷）
冷卻水	最小流速： 50 L/h (0.89 GPM)	溫度： +15 ℃ 至 +30 ℃	壓力： 3 至 5 bar（45 至 75 psi）
噪聲聲壓級	在 1 米處，< 50 dB(A)
儲存溫度	-40 °C 至 +70 °C
海拔	3000 m
重量 kg（磅）：	泵 ISO 100： 5.5 (12.3)	泵 CFF 6 英寸： 7.5 kg (16.5)	泵 ISO 160： 5.7 kg (12.6)	泵 CFF 8 英寸： 9.7 kg (20.9)