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復(fù)合 VacIon Plus 離子泵

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產(chǎn)品型號VacIon Plus

品       牌

廠商性質(zhì)其他

所  在  地

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更新時間:2024-05-20 10:13:53瀏覽次數(shù):68次

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產(chǎn)品簡介

AgilentVacIonPlus復(fù)合泵集成了鈦升華泵技術(shù),能夠?qū)崿F(xiàn)超高真空

詳細介紹

AgilentVacIonPlus復(fù)合泵集成了鈦升華泵技術(shù),能夠?qū)崿F(xiàn)超高真空。鈦升華泵(TSP)能夠以的抽速抽取活性氣體,而離子泵適用于氬氣和甲烷等非活性氣體??梢詫SP添加到離子泵的內(nèi)部,或者將其作為一個獨立的抽氣單元。
復(fù)合泵配置適用于VacIonPlus150、300或500,并包含圓柱形低溫板、在外側(cè)或底部額外安裝的8英寸ConFlat法蘭接口以及一個安裝至該接口的TSP升華源,以額外提供高抽氣速度。
安捷倫提供兩種肽升華泵:鈦絲源和鈦球源。燈絲型TSP源在兩次升華之間可以關(guān)閉,因此可以避免氣體在高溫下逸出。球型TSP源含有更多的鈦,在需要鈦較多(例如較高的操作壓力)的條件下,可以使用更長的時間。

性能指標:

功能:

1.活性氣體進入到圓柱形低溫板底端并與剛沉積的鈦結(jié)合

2.液氮將低溫板冷卻,可提高吸收過程的效率并大幅提高對水蒸氣的抽速

3.低溫板可安裝在泵的底部或側(cè)面,當高度有可靈活配置

4.還提供定制化的配置

性能指標:

VacIon 150 側(cè)面安裝 TSP 外形圖

VacIon 500 側(cè)面安裝 TSP 外形圖

VacIon 300 底部安裝 TSP 外形圖

VacIon 500 底部安裝 TSP 外形圖

技術(shù)規(guī)格:

抽速曲線:

鈦升華泵 (TSP)

功能

TSP 泵芯

常用的 TSP 升華源安裝在 2.75 英寸的 ConFlat 法蘭上,包括三根鈦鉬絲,每根鈦-鉬絲上有 1.1 g 可用的鈦。升華源組件可耐受 400 °C 的烘烤。在 300 瓦電源供電下升華率可達到值。

性能指標:

外形圖:

技術(shù)規(guī)格:

鈦升華泵 (TSP)

功能

微型鈦球

Mini Ti-Ball 鈦球源提供了 15.2 g 可用鈦,安裝在 2.75 英寸的 ConFlat 法蘭上。在 300 瓦電源供電下升華率可達到值,要求的待機功率為 100 瓦。

性能指標:

外形圖:

鈦升華泵 (TSP)

功能

TSP 低溫板

該升華低溫板專門設(shè)計用于 TSP catridge 升華源,安裝在 8 英寸的 ConFlat 法蘭上??稍谟兴蛞旱鋮s的情況下工作,若在超高真空下工作則無需冷卻。該低溫板可安裝至雙接口或單側(cè)接口的離子泵上,還可以單獨安裝于任何口徑為 8 英寸 (NW 150)、深度/間隙為 11 英寸的 CFF 接口上。

性能指標:

外形圖:

不同蒸發(fā)速率下抽速與壓力的關(guān)系:

技術(shù)規(guī)格:


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