Agilent HS-16 擴散泵低成本的 HS 系列泵提供 2 英寸和 16 英寸至 35 英寸等多種尺寸，具有高速、低極限壓力、高抽氣量、前級耐壓高、低返油的特點。該 HS 系列擴散泵標準配置過熱保護開關和可選的速冷盤管。16 英寸至 35 英寸泵附帶油位觀察窗/注油和放油組件，并提供 ASA 或 ISO 法蘭。

特性：

1.五級分餾噴嘴可純化泵油
2.可提供 9600 瓦高通導型
3.前級耐壓高
4.過熱保護
5.泵油注排組件
6.液位觀察鏡可隨時快速指示泵油的狀況
7.在入口法蘭下方提供標準規(guī)口 (NW-25)
8.前級擋板防止泵油進入前級泵系統(tǒng)并造成流失
9.可選件 halo baffle 水冷帽可以在不增加高度的情況下減少返油
10.可選速冷盤管

性能指標：

技術指標：

抽氣速率，工作范圍	6000 L/s 空氣，7500 L/s 氦氣和氫氣
*抽氣速率，AVS 4.1**(1963)	10000 L/s 空氣
抽氣量	8,100 W – 9.5 T-l/s (12.7 mbar l/s) in operating range13.5 T-l/s (18.0 mbar-l/s) @ 0.01 Torr 9,600 W –12.0 T-l/s (16 mbar l/s) in operating range 11.5 T-l/s (15.3 mbar-l/s) @ 0.01 Torr
工作范圍	9600 W 時，壓力為 2 x 10^-3 至低于 5 x 10^-8 Torr（1.3 x 10^-3至 6.5 x 10^-8 mbar）
前級耐壓	無負載 — 0.65 Torr (0.85 mbar)，滿載 — 0.55 Torr (0.72 mbar)
泵功率	8100/9600 W
推薦前級泵	≥ 80 cfm (136 m³/h)
返油率，標準冷卻帽**	低于 1.5 x 10^-3 mg/cm²/min
預熱時間	30 分鐘
冷卻時間	48 分鐘（使用可選的速冷盤管只需 30 分鐘）
注油量	3 夸脫 (2.8 L)
電氣要求	3 相，50/60 Hz，240/415/480 VAC
冷卻水要求	在 60-80 °F (15-26 °C) 時，抽速為 1.5 gpm (300 L/h)
連接水冷	1/4 英寸 FPT 三通
推薦泵油	DC-704（參閱產(chǎn)品目錄第 30 頁）