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鄭州成越科學(xué)儀器有限公司


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大功率程控伺服勻膠機(jī)

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具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)

產(chǎn)品型號(hào)CY-HP-PC-S

品       牌

廠商性質(zhì)其他

所  在  地

聯(lián)系方式:汪紀(jì)彬查看聯(lián)系方式

更新時(shí)間:2022-12-10 15:36:15瀏覽次數(shù):2337次

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經(jīng)營(yíng)模式:其他

商鋪產(chǎn)品:104條

所在地區(qū):

聯(lián)系人:汪紀(jì)彬

產(chǎn)品簡(jiǎn)介

簡(jiǎn)單介紹: CY-HP-PC-S大功率程控伺服勻膠機(jī)是一種小型、靈活和經(jīng)濟(jì)的旋轉(zhuǎn)勻膠設(shè)備,它可以實(shí)現(xiàn)在價(jià)值百萬(wàn)美元的設(shè)備上才可能達(dá)到的穩(wěn)定性和均勻性,大功率程控伺服勻膠機(jī)能夠處理12寸以內(nèi)的圓晶基片。

詳細(xì)介紹

詳情介紹:

大功率程控伺服勻膠機(jī)主要特點(diǎn):

機(jī)身采用不銹鋼外殼比塑料或者烤漆金屬更耐久和美觀;

工業(yè)級(jí)別400瓦伺服電機(jī)系統(tǒng),采用于trCYk設(shè)備相同設(shè)計(jì)和程序,使您的工藝更具有實(shí)際應(yīng)用意義;

可達(dá)到50000rpm/s的旋轉(zhuǎn)加速度,確保旋轉(zhuǎn)勻膠的穩(wěn)定性和的可重復(fù)性。

大功率程控伺服勻膠機(jī)技術(shù)參數(shù):

旋涂程序:可以至多存儲(chǔ)100組程序,每組100步,每個(gè)步驟可**到0.1秒

轉(zhuǎn)動(dòng)速度:0-5000rpm(更高速可選),考慮重片或大片旋涂safety限定為5000rpm

旋涂加速度:0-10000rpm/sec(更高可選),考慮重片或大片旋涂safety限定為10000rpm/s

馬達(dá)旋涂轉(zhuǎn)速穩(wěn)定性能誤差:<±1rpm

轉(zhuǎn)速調(diào)節(jié)精度和重復(fù)性:1rpm

工藝時(shí)間設(shè)定:0-3000 sec/step,時(shí)間設(shè)置精度:0.1sec

支持wafer尺寸25px-300mm(12''圓晶)

旋涂作業(yè)均勻性:<±3%在6英寸范圍內(nèi)(需要去除邊緣3毫米區(qū)域測(cè)量)

CY-HP-PC-S大功率程伺服勻膠機(jī)優(yōu)點(diǎn):

內(nèi)部緊湊設(shè)計(jì),縮小了設(shè)備的尺寸。

7"觸屏控制面板操作系統(tǒng),更方便操作。

Telon ®/polyethylene“密閉碗"設(shè)計(jì)可適合各種材料勻膠工藝。

標(biāo)準(zhǔn)配置轉(zhuǎn)速5000rpm,并可根據(jù)用戶需要進(jìn)行定制。

采用工業(yè)級(jí)別伺服電機(jī),電機(jī)設(shè)計(jì)避免光刻膠等污染物進(jìn)入電機(jī)內(nèi)部。

機(jī)身選用耐酸堿、耐沖擊、耐腐蝕不銹鋼,生銹,便于清洗。

排風(fēng)和抽氣系統(tǒng)位于載片臺(tái)之底部 (以利于排風(fēng)效率和勻膠均一性)。

透明可視,耐化學(xué)腐蝕的密封蓋,可以在旋涂作業(yè)時(shí)隔絕光阻的溢出及有效隔絕有毒氣味的散發(fā)。

免責(zé)聲明

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