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BX-G101高精度光譜橢偏儀靈敏光譜橢偏儀

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更新時間：2023-03-04 17:11:52瀏覽次數(shù)：219次

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產(chǎn)品簡介

BX-G101系列針對科研和工業(yè)環(huán)境中薄膜測量推出的高精度快速攝譜型光譜橢偏儀，波長范圍覆蓋紫外、可見到紅外。光譜橢偏儀基于高靈敏度光譜探測單元和光譜橢偏儀分析軟件，用于測量單層和多層納米薄膜的層構(gòu)參數(shù)（如，厚度）和物理參數(shù)（如，折射率n、消光系數(shù)k，或介電函數(shù)ε1和ε2），也可用于測量塊狀材料的光學(xué)性質(zhì)。

詳細介紹

橢偏儀儀器光譜橢偏儀橢偏儀分析

產(chǎn)品用途：

BX-G101系列針對科研和工業(yè)環(huán)境中薄膜測量推出的高精度快速攝譜型光譜橢偏儀，波長范圍覆蓋紫外、可見到紅外。光譜橢偏儀基于高靈敏度光譜探測單元和光譜橢偏儀分析軟件，用于測量單層和多層納米薄膜的層構(gòu)參數(shù)（如，厚度）和物理參數(shù)（如，折射率n、消光系數(shù)k，或介電函數(shù)ε1和ε2），也可用于測量塊狀材料的光學(xué)性質(zhì)。

儀器特點：

1. 旋轉(zhuǎn)補償器測量技術(shù)：橢偏角△的測量范圍是0-360o，無測量死角問題，也可消除粗糙表面引起的消偏振效應(yīng)對結(jié)果的影響

2. 秒級的全光譜測量速度：全光譜測量典型時間5-10秒

3. 原子層量級的檢測靈敏度：可以測量單原子層

4. 視頻式樣品對準(zhǔn)：準(zhǔn)確完成樣品對準(zhǔn)，并方便觀察，減小人為誤差

5. 多入射角度調(diào)節(jié)：多入射角度結(jié)構(gòu)設(shè)計，增強了儀器測量的靈活性，尤其適合于超薄樣品或復(fù)雜的樣品的測量場合

6. 反射率/透射率測量：對樣品進行光譜透射率和反射率測量

7. 一鍵式儀器操作：對于常見操作，只需鼠標(biāo)點擊一個按鈕即可完成復(fù)雜的測量、建模、擬合和分析過程，豐富的模型庫和材料庫也同時方便了用戶的操作需求

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