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北京歐倍爾科學儀器有限公司


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FT-NMT04原位納米壓痕儀

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產(chǎn)品簡介

FT-NMT04原位納米壓痕儀FT-NMT04原位納米力學測試系統(tǒng)是一種多功能原位SEM/FIB納米壓痕儀,能夠精確量化微米和納米級材料的力學行為

詳細介紹


FT-NMT04納米力學性能測試系統(tǒng)(原位納米壓痕儀)


FemtoTools是一家瑞士高科技公司,研發(fā)團隊依托于瑞士聯(lián)邦理工學院-機器人與智能系統(tǒng)研究所(ETH-IRIS)Bradley Nelson 教授課題組,為微納米尺度的機械測試和機器人處理研發(fā)超高精度儀器,充分滿足半導體技術、微系統(tǒng)開發(fā)、材料科學、微型醫(yī)學和生物技術等領域的挑戰(zhàn)性要求。

FT-NMT04是瑞士FemtoTools公司研發(fā)的一款原位納米壓痕儀。

FT-NMT04納米力學性能測試系統(tǒng)是一種多功能原位SEM/FIB納米壓痕儀,能夠精確量化微米和納米級材料的力學行為。作為一個基于MEMS的納米壓痕儀,F(xiàn)T-NMT04基于獲得的Femto Tools微電子機械系統(tǒng)(MEMS)技術。利用二十多年的技術創(chuàng)新,這種原位納米壓痕具有的分辨率,可重復性和動態(tài)響應。

FT-NMT04原位納米壓痕儀針對金屬,陶瓷,薄膜以及超材料和MEMS等微結(jié)構的機械測試進行了優(yōu)化。此外,通過使用各種附件,F(xiàn)T-NMT04的功能可以擴展到各個研究領域的多樣化要求。典型應用包括通過微柱的壓縮測試或狗骨樣本,薄膜或納米線的拉伸測試來量化塑性變形機制。此外,彎曲期間的連續(xù)剛度測量使得能夠在微梁的斷裂測試期間量化裂縫生長和斷裂韌性。由于的低噪聲基底分別為500pN和50pm,F(xiàn)T-NMT04可實現(xiàn)淺納米壓痕,具有的可重復性。

納米壓痕儀


FT-NMT04原位納米壓痕儀

FT-NMT04納米力學性能測試系統(tǒng)可以集成到大多數(shù)SEM   /  FIB系統(tǒng)中



FT-NMT04原位納米壓痕儀功能:

米壓痕,壓縮測試,拉伸測試,斷裂測試,疲勞測試
使用SEM,EBSD或STEM進行定量機械測試和同步成像
獲得的基于MEMS的傳感技術可實現(xiàn)0.5 nN至200 mN的分辨率和重復力,以及0.05 nm至21 mm的位移
能夠進行連續(xù)剛度測量(CSM)或高達500 Hz的疲勞測量,無需復雜的動態(tài)校準
真正的位移控制測試,可實現(xiàn)快速應力下降的量化(也可以選擇基于力反饋的力控制測量)
3軸,4軸或5軸(x,y,z,旋轉(zhuǎn),傾斜),閉環(huán)傳感器,使用所有軸上的位置編碼器進行樣品對齊
高溫測試可達400℃
能夠?qū)悠酚行虻囟ㄏ虻郊{米壓頭,電子束和EBSD檢測器,以評估特定顆粒和位置的硬度(僅適用于5軸配置)
簡單確定壓頭區(qū)域功能和框架順應性
強大的數(shù)據(jù)分析工具,用于評估測量結(jié)果并應用擬合或函數(shù)來計算材料屬性
SEM樣品臺安裝可以快速安裝和移除SEM室內(nèi)的系統(tǒng)
緊湊的模塊化設計使其幾乎可以集成到任何SEM中
可定制的測量程序和原則



FT-NMT04原位納米壓痕儀應用概述:

原位納米壓痕儀

微柱壓縮


確定滑移系統(tǒng)的臨界分辨剪切應力(CRSS)

表征單軸應力下的變形機制

韌性損傷和應變局部化的量化

原位納米壓痕儀

微懸臂斷裂試驗


用連續(xù)J積分法測定亞微米斷裂韌性

表征單調(diào)和循環(huán)斷裂行為

量化各個裂紋的萌生和傳播

原位納米壓痕儀

納米壓痕


以低容量確定硬度和楊氏模量

量化接觸力學和動態(tài)響應

多軸應力下變形機制的表征

原位納米壓痕儀

微拉伸試驗


確定屈服應力,極限拉伸應力和斷裂伸長率

在單調(diào)和循環(huán)加載下表征斷裂模式

定量應變局部化效應和裂紋萌生和傳播事件

原位納米壓痕儀

用STEM / EBSD進行相關的機械測試


應變定位的定量研究

相變的定量研究

紋理演變的定量研究

位錯動力學的定量研究

晶界遷移的定量研究




FT-NMT04系統(tǒng)構造和配置:

原位納米壓痕儀
主要特征
力感應范圍:+/-200mN
強制本底噪聲(10Hz):500pN
位移范圍:25μm
位移噪聲層(10Hz):50pm
連續(xù)剛度測量和高達500Hz的疲勞測試
3軸傳感器與樣品對齊
尺寸:120 x 44 x 72 mm


主要應用
微柱壓縮 •微懸臂斷裂試驗
疲勞測試
納米壓痕
微拉伸測試


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