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MZKDY-1四探針電阻率測試儀/半導(dǎo)體材料電阻率測試儀

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  • 北京明召偉業(yè)科技有限公司
  • 2022-08-03 13:47:07
  • 北京市
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【簡單介紹】

用來測量半導(dǎo)體材料(主要是硅單晶、鍺單晶、硅片)電阻率,以及擴(kuò)散層、外延層、ITO導(dǎo)電箔膜、導(dǎo)電橡膠方塊電阻的測量儀器。它主要由電氣測量部份(簡稱:主機(jī))、測試架及四探針頭組成。

【詳細(xì)說明】

用來測量半導(dǎo)體材料(主要是硅單晶、鍺單晶、硅片)電阻率,以及擴(kuò)散層、外延層、ITO導(dǎo)電箔膜、導(dǎo)電橡膠方塊電阻的測量儀器。它主要由電氣測量部份(簡稱:主機(jī))、測試架及四探針頭組成。

特點(diǎn)  
1、配有雙數(shù)字表:一塊數(shù)字表在測量顯示硅片電阻率的同時,另一塊數(shù)字表(以萬分之幾的精度)適時監(jiān)測全過程中的電流變化,使操作更簡便,測量更精確。 
數(shù)字電壓表量程:0—199.99mV  靈敏度:10μV  輸入阻抗:1000ΜΩ 
                        基本誤差±(0.04-0.05%讀數(shù)+0.01%滿度) 
2、可測電阻率范圍:10—4 —1.9×104Ω·cm。 
     可測方塊電阻范圍:10—3 —1.9×105Ω/□。 
3、設(shè)有電壓表自動復(fù)零功能,當(dāng)四探針頭1、4探針間未有測量電流流過時,電壓表指零,只有1、4探針接觸到硅片,測量電流渡過單晶時,電壓表才指示2、3探針間的電壓(即電阻率)值,避免空間雜散電波對測量的干擾。 
4、流經(jīng)硅片的測量電流由高度穩(wěn)定(萬分之五精度)的特制恒流源提供,不受氣候條件的影響,整機(jī)測量精度<3%。 
電流量程分五檔:10μA、100μA、1mA、10mA、100mA。 
5、儀器采用觸點(diǎn)電阻更低(<5mΩ)、使用壽命更長的轉(zhuǎn)換開頭及繼電器(>10萬次),在絕緣電阻、電流容量方面留有更大的安全系數(shù),提高了測試儀的可靠性和使用壽命。 
6、可加配電腦,使用軟件進(jìn)行數(shù)據(jù)采集,實(shí)現(xiàn)自動換向測量、存儲,求平均值,zui大值、zui小值、zui大百分變化率、平均百分變化率等內(nèi)容。 

    
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