會(huì)員1.png)
：靈活性。因?yàn)镕FU是自帶動(dòng)力的，它不受區(qū)域的限制。在一個(gè)偌大的潔凈廠房里，可根據(jù)需要，分區(qū)控制。而且，隨著半導(dǎo)體生產(chǎn)工藝的變化，廠房布局必然要作相應(yīng)調(diào)整，F(xiàn)FU的靈活性使得這樣的調(diào)整變得輕松，而且不會(huì)帶來二次投資。
第二：可再利用性。從理論上講，一時(shí)不用的FFU設(shè)備，可以拆下來，密封好，妥善保管，留待下次使用。
第三：負(fù)壓通風(fēng)。這是FFU的特點(diǎn)。由于它本身能夠提供靜壓，使得送風(fēng)靜壓箱相對(duì)于潔凈廠房負(fù)壓。這樣，靜壓箱內(nèi)的顆粒就不會(huì)受到壓力的作用泄漏到潔凈區(qū)里，使得密封變得很簡單而且安全。
第四：縮短建設(shè)周期。使用FFU省掉了風(fēng)管的制作和安裝，因?yàn)轱L(fēng)管在潔凈工程中，占掉很大的建設(shè)周期，任何一個(gè)投資者都希望投資能盡快帶來收益，選用FFU成為了一種可能。
第五：減少運(yùn)行成本。雖然在選用FFU時(shí)，初期投資要比使用風(fēng)管通風(fēng)高，但它在后期運(yùn)行中，突出的表現(xiàn)出節(jié)能、免維護(hù)等特點(diǎn)。用在循環(huán)減少40%的運(yùn)行成本。
FFU性能參數(shù)：
模數(shù)尺寸：FFU常用的標(biāo)準(zhǔn)模數(shù)尺寸為1200X600（4’X2’），1200X900（4’X3’），1200X1200（4’X4’），吊龍骨中心線的間距。實(shí)際尺寸： FFU過濾器的實(shí)際尺寸=模數(shù)尺寸-（龍骨斷面寬度-25mm），風(fēng)機(jī)模塊的實(shí)際尺寸比過濾器稍大4mm。比如說常用的吊龍骨端面寬度為55mm，模數(shù)尺寸為1200，900，600所對(duì)應(yīng)的FFU過濾器實(shí)際尺寸為1170，870，570，風(fēng)機(jī)模塊的實(shí)際尺寸為1174，874，574。
機(jī)外余壓：在某一設(shè)定風(fēng)速下，風(fēng)機(jī)模塊的總靜壓（TSP）扣除HEPA/ULPA過濾器的阻力，即為機(jī)外余壓（ESP），單位是Pa。ESP是指FFU整機(jī)能克服潔凈室循環(huán)風(fēng)阻力的能力，無論是標(biāo)注FFU機(jī)外余壓或風(fēng)機(jī)模塊的總靜壓TSP，都必需指名送風(fēng)風(fēng)速或風(fēng)量，否則沒有意義。
輸入能耗：FFU正常運(yùn)轉(zhuǎn)時(shí)輸入電壓和輸入電流的乘積，單位是W。顯然，F(xiàn)FU在不同的運(yùn)行工況點(diǎn)，即在不同的運(yùn)行風(fēng)量和總靜壓時(shí)，輸入能耗不同。因此，如果不指明運(yùn)行工況點(diǎn)，輸入能耗值沒有意義。
單體噪音：根據(jù)標(biāo)準(zhǔn)IES-RP-CC002，F(xiàn)FU正常運(yùn)轉(zhuǎn)時(shí)在距離出風(fēng)面中心正下方1.2mm處的噪音值，單位是dB(A)。FFU在不同的運(yùn)行工況點(diǎn)，即在不同的運(yùn)行風(fēng)量和總靜壓時(shí)，噪音不同。因此，如果不指明運(yùn)行工況點(diǎn)，噪音值沒有意義。
微振：根據(jù)標(biāo)準(zhǔn)IES-RP-CC002，F(xiàn)FU在運(yùn)轉(zhuǎn)工況點(diǎn)時(shí)的振動(dòng)幅度和振動(dòng)速率，單位分別是mm和mm/s。
送風(fēng)均勻度：根據(jù)標(biāo)準(zhǔn)IES-RP-CC002，F(xiàn)FU正常運(yùn)轉(zhuǎn)時(shí)，在距離出風(fēng)面上方150mm（6”）的水平面上測(cè)量逐點(diǎn)的風(fēng)速，得出平均風(fēng)速值。平均風(fēng)速與風(fēng)速和*小風(fēng)速的偏差比即為送風(fēng)均勻度，單位為+/-%。標(biāo)準(zhǔn)IES-RP-CC002中要求FFU的任一點(diǎn)的送風(fēng)風(fēng)速與其平均風(fēng)速的偏差均應(yīng)在+/-20%以內(nèi)。
過濾器效率等級(jí)：依據(jù)歐洲標(biāo)準(zhǔn)EN1822，過濾器等級(jí)從H10-H14，U15-U17?；蛞罁?jù)美國標(biāo)準(zhǔn)MIL-282（HEPA），對(duì)于0.3um的效率值；依據(jù)美國標(biāo)準(zhǔn)IES-RP-CC007.1，對(duì)于0.12um的效率值。
