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行業(yè)產(chǎn)品

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長(zhǎng)沙沛鈺進(jìn)出品貿(mào)易有限公司


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1200℃四坩堝移動(dòng)型管

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產(chǎn)品型號(hào)

品       牌

廠商性質(zhì)其他

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聯(lián)系方式:長(zhǎng)沙市岳麓區(qū)天馬路科教新村5區(qū)三棟304(大學(xué)城辦事處)查看聯(lián)系方式

更新時(shí)間:2023-02-28 10:52:21瀏覽次數(shù):142次

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商鋪產(chǎn)品:487條

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聯(lián)系人:長(zhǎng)沙市岳麓區(qū)天馬路科教新村5區(qū)三棟304(大學(xué)城辦事處)

產(chǎn)品簡(jiǎn)介

產(chǎn)品詳情型號(hào):OTF-1200X-II-ZL產(chǎn)品概述:OTF-1200X-II-ZL是一款爐管可在爐管內(nèi)部移動(dòng)的(在真空氣氛保護(hù)環(huán)境下移動(dòng))管式爐,最多可依次移動(dòng)4個(gè)坩堝

詳細(xì)介紹

產(chǎn)品詳情

型號(hào):OTF-1200X-II-ZL

產(chǎn)品概述:OTF-1200X-II-ZL是一款爐管可在爐管內(nèi)部移動(dòng)的(在真空氣氛保護(hù)環(huán)境下移動(dòng))管式爐,最多可依次移動(dòng)4個(gè)坩堝。特殊的坩堝推送機(jī)構(gòu),可將坩堝在爐管內(nèi)推出后再拉回,讓坩堝能做往返移動(dòng)。坩堝移動(dòng)位置&爐體的溫度控制都采用一觸摸屏控制。此款設(shè)備可進(jìn)行物理化學(xué)混合沉積(HPCVD),快速熱蒸發(fā)(RTE)等實(shí)驗(yàn),特別適合制備多層二維晶體材料。

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技術(shù)參數(shù)實(shí)驗(yàn)案例警示/應(yīng)用提示配件詳情
開(kāi)啟式管式爐
  • 雙溫區(qū)管式爐:兩個(gè)獨(dú)立的溫控系統(tǒng)分別獨(dú)立控制兩個(gè)溫區(qū)

  • 加熱區(qū)長(zhǎng)度:溫區(qū)1:200mm, 溫區(qū)2:200mm

  • 爐管材料:高純石英

  • 爐管尺寸:外徑: 60 ×內(nèi)徑: 54×長(zhǎng): 760 mm

  • 溫度曲線圖(兩個(gè)溫區(qū)設(shè)置在800℃時(shí)所測(cè),僅供參考)(可點(diǎn)擊圖片查看詳細(xì)資料))

  • 工作溫度:1200℃(<1hr)

  • 連續(xù)工作溫度:1100℃

  • 控溫精度:+/-1

  •  


真空密封
  • 配有不銹鋼密封法蘭,上面安裝有不銹鋼截止閥和機(jī)械壓力表

  • 進(jìn)氣端法蘭接口為Φ6.35卡套接頭,出氣端法蘭接口為KF25接口

  • 法蘭密封圈采用水冷卻,使用時(shí)需要通入冷卻水,可在本公司選購(gòu)循環(huán)水冷機(jī)

  • 真空度:10E-2 torr(采用機(jī)械泵),10-E5 torr(采用分子泵)

  •   


坩堝移動(dòng)機(jī)構(gòu)(轉(zhuǎn)輪式法蘭)
  • 一根鎧裝熱電偶通過(guò)左端法蘭通入到爐管內(nèi)部,并與坩堝相連接(圖1)

  • 通過(guò)步進(jìn)電機(jī)驅(qū)動(dòng)使坩堝移動(dòng),并和熱電偶和坩堝一起移動(dòng),實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)樣品的溫度

  • 進(jìn)氣端法蘭轉(zhuǎn)輪式法蘭(圖2)

  • 可同時(shí)在轉(zhuǎn)輪系統(tǒng)中放入4個(gè)坩堝,可交替將放入4種材料的石英坩堝自動(dòng)送入到石英管中(可在真空狀態(tài)或氣氛保護(hù)狀態(tài)進(jìn)行運(yùn)作)


坩堝移動(dòng)控制
  • 通過(guò)一步進(jìn)電機(jī)控制坩堝移動(dòng)的速度和位置

  • 可控制坩堝最小移動(dòng)位移為1mm

  • 坩堝移動(dòng)距離為200mm

  •   


防腐型數(shù)顯真空計(jì)
  • 配有一數(shù)顯防腐型真空計(jì)

  • 當(dāng)氣壓在10mbar以上時(shí),不需因測(cè)量氣體種類不同而進(jìn)行系數(shù)轉(zhuǎn)換

  • 對(duì)于氣體的壓力檢測(cè)具有較高的精確度和重復(fù)性

  • 因?yàn)閭鞲衅魃襄冇型繉?,所以具有較好的抗腐蝕性

  • 測(cè)量范圍:3.8x10-5 -1125 Torr


混氣系統(tǒng)
  • 此套設(shè)備中配有一2路混氣系統(tǒng)

  • 輸出功率:18W

  • 工作溫度:5-45℃

  • 氣壓:3×106Pa

  • 精度:±1%FS

  • 質(zhì)量流量計(jì)量程:

  • 1:0-100sccm

  • 2:1-199sccm

  • 可根據(jù)客戶要求選購(gòu)1-5路供氣系統(tǒng)


產(chǎn)品尺寸

2400L×600W×1300mm H
   

國(guó)家
質(zhì)保

一年質(zhì)保期,終生維護(hù)(不包含爐管,密封圈和加熱元件)

質(zhì)量認(rèn)證
  • CE認(rèn)證

  • 所有電器元件(>24V)都通過(guò)UL / MET / CSA認(rèn)證

  • 若客戶出認(rèn)證費(fèi)用,本公司保證單臺(tái)設(shè)備通過(guò)德國(guó)TUV認(rèn)證或CAS認(rèn)證
         


使用注意事項(xiàng)
  • 爐管內(nèi)氣壓不可高于0.02MPa

  • 由于氣瓶?jī)?nèi)部氣壓較高,所以向爐管內(nèi)通入氣體時(shí),氣瓶上必須安裝減壓閥,建議在本公司選購(gòu)減壓閥,本公司減壓閥量程為0.01MPa-0.1MPa,使用時(shí)會(huì)更加精確安全

  • 當(dāng)爐體溫度高于1000℃時(shí),爐管內(nèi)不可處于真空狀態(tài),爐管內(nèi)的氣壓需和大氣壓相當(dāng),保持在常壓狀態(tài)

  • 進(jìn)入爐管的氣體流量需小于200SCCM,以避免冷的大氣流對(duì)加熱石英管的沖擊

  • 石英管的長(zhǎng)時(shí)間使用溫度<1100℃

  • 對(duì)于樣品加熱的實(shí)驗(yàn),不建議關(guān)閉爐管法蘭端的抽氣閥和進(jìn)氣閥使用。若需要關(guān)閉氣閥對(duì)樣品加熱,則需時(shí)刻關(guān)注壓力表的示數(shù),若氣壓表示數(shù)大于0.02MPa,必須立刻打開(kāi)泄氣閥,以防意外發(fā)生(如爐 管破裂,法蘭飛出等)


應(yīng)用注意事項(xiàng)
  • 此款管式爐具有多種用途

  • 熱蒸發(fā):把蒸發(fā)料放在坩堝里,通過(guò)移動(dòng)坩堝來(lái)精確找到所需要的蒸發(fā)溫度

  • HPCVD:和熱蒸發(fā)相似,可通入反應(yīng)氣體與蒸發(fā)的物料反應(yīng)后再沉積

  • 可用于制作多層二維晶體


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