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蔡司顯微鏡Axio Imager Vario

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產(chǎn)品簡(jiǎn)介

檢查大型樣品的自動(dòng)化過程-與潔凈室兼容。檢查微型MEMS傳感器,XXL晶片和所有介于兩者之間的東西。*大試件尺寸為300×300mm,*大試件厚度為254mm,這是分析大型試件的無損方法。立柱設(shè)計(jì)確保了穩(wěn)定性。在您的潔凈室檢查晶圓:AxioImagerVario是DINENISO14644-1認(rèn)證,并滿足潔凈室等級(jí)ISO5的要求。與電動(dòng)z軸驅(qū)動(dòng)和自動(dòng)對(duì)焦系統(tǒng),你可以帶來低對(duì)比度,反射標(biāo)本到*的焦

詳細(xì)介紹

檢查大型樣品的自動(dòng)化過程-與潔凈室兼容。
檢查微型MEMS傳感器,XXL晶片和所有介于兩者之間的東西。
*大試件尺寸為300 × 300mm,*大試件厚度為254 mm,這是分析大型試件的無損方法。
立柱設(shè)計(jì)確保了穩(wěn)定性。
在您的潔凈室檢查晶圓:Axio Imager Vario是DIN EN ISO 14644-1認(rèn)證,并滿足潔凈室等級(jí)ISO 5的要求。
與電動(dòng)z軸驅(qū)動(dòng)和自動(dòng)對(duì)焦系統(tǒng),你可以帶來低對(duì)比度,反射標(biāo)本到*的焦點(diǎn)。
這每次都會(huì)產(chǎn)生*佳結(jié)果。
根據(jù)您的需求配置
顯微鏡
Axio成像儀。
A2 Vario(手動(dòng),編碼)
Axio成像儀。
Z2 Vario(可電動(dòng)化)
Axio成像儀。
Z2 Vario(沒有炮塔焦點(diǎn))
照明方法
反射光:亮場(chǎng)、暗場(chǎng)、DIC、C-DIC、偏振、
熒光
透射光:亮場(chǎng)、暗場(chǎng)、DIC、PlasDIC、偏振、相位對(duì)比
照明
反射光:LED,鹵素,HBO, XBO
透射光:LED、鹵素
配件
自動(dòng)對(duì)焦,線性傳感器,手動(dòng)和電動(dòng)舞臺(tái)
簡(jiǎn)單。更聰明。更多的集成。

YSKMTYyMDINTcMjYOTcNQ.jpg?利用*大試件尺寸為300 × 300mm和令人印象深刻的*大試件厚度為254 mm進(jìn)行無損分析。
?無論是處理沉重的樣品或與LSM 700激光掃描顯微鏡結(jié)合工作,堅(jiān)固的柱設(shè)計(jì)提供穩(wěn)定,您可以依賴和防止振動(dòng)。
?axio Imager Vario是DIN EN ISO 14644-1認(rèn)證,與一個(gè)潔凈室套件,滿足潔凈室等級(jí)ISO 5的要求。
?用于檢測(cè)反光,低對(duì)比度的樣本表面,配備Axio Imager Vario快速和*效的自動(dòng)對(duì)焦系統(tǒng)。
然后,即使你*大的標(biāo)本將保持*的焦點(diǎn)沿X和y軸移動(dòng)。
為您的應(yīng)用程序創(chuàng)建
?由于廣泛的旅行范圍,您可以檢查太陽(yáng)能電池表面的均勻性和微裂紋。
?使用潔凈室套件和自動(dòng)對(duì)焦來識(shí)別晶圓上的顆粒、劃痕和缺陷。
?識(shí)別TFT顯示器在反射和透射光下的像素缺陷。
?用光罩支架檢查光罩是否有過量的鉻膜和顆粒。
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