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導(dǎo)電膜雙電測(cè)電四探針測(cè)試儀

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導(dǎo)電膜雙電測(cè)電四探針測(cè)試儀

詳細(xì)介紹

適用范圍Widely used：

硅晶塊、晶片電阻率及擴(kuò)散層、外延層、ITO導(dǎo)電箔膜、導(dǎo)電橡膠等材料方塊電阻半導(dǎo)體材料/晶圓、太陽(yáng)能電池、電子元器件，導(dǎo)電薄膜（ITO導(dǎo)電膜玻璃等），金屬膜，導(dǎo)電漆膜，蒸發(fā)鋁膜，PCB銅箔膜，

EMI涂層等物質(zhì)的薄層電阻與電阻率導(dǎo)電性油漆，導(dǎo)電性糊狀物，導(dǎo)電性塑料，導(dǎo)電性橡膠，導(dǎo)電性薄膜，金屬薄膜，

抗靜電材料， EMI 防護(hù)材料，導(dǎo)電性纖維，導(dǎo)電性陶瓷等

導(dǎo)電膜雙電測(cè)電四探針測(cè)試儀

功能描述Description：

1. 四探針組合雙電測(cè)量方法

2. 液晶顯示，自動(dòng)測(cè)量，自動(dòng)量程，自動(dòng)系數(shù)補(bǔ)償.

3. 集成電路系統(tǒng)、恒流輸出.

4. 選配：PC軟件進(jìn)行數(shù)據(jù)管理和處理.

5. 提供中文或英文兩種語(yǔ)言操作界面選擇

導(dǎo)電膜雙電測(cè)電四探針測(cè)試儀

參照標(biāo)準(zhǔn)：

1.硅片電阻率測(cè)量的標(biāo)準(zhǔn)（ASTM F84）.

2.GB/T 1551-2009 《硅單晶電阻率測(cè)定方法》.

3.GB/T 1551-1995《硅、鍺單晶電阻率測(cè)定直流兩探針?lè)ā?

4.GB/T 1552-1995《硅、鍺單晶電阻率測(cè)定直流四探針?lè)ā?

導(dǎo)電膜雙電測(cè)電四探針測(cè)試儀

雙電組合測(cè)試方法：

利用電流探針、電壓探針的變換，進(jìn)行兩次電測(cè)量，對(duì)數(shù)據(jù)進(jìn)行雙電測(cè)分析，解決樣品幾何尺寸、邊界效應(yīng)以及探針不等距和機(jī)械游移等因素對(duì)測(cè)量結(jié)果的影響，適用于斜置式四探針對(duì)于微區(qū)的測(cè)試。

規(guī)格型號(hào)/ model	FT-341	FT-342	FT-343	FT-345	FT-346	FT-347
1.方塊電阻sheet resistance	10-5～2×105Ω/□	10-4～2×105Ω/□	10-3～2×105Ω/□	10-3～2×104Ω /□	10-2～2×105Ω/□	10-2～2×104Ω/□
2.電阻率Resistivity	10-6～2×106Ω-cm	10-5～2×106Ω-cm	10-4～2×106Ω-cm	10-4～2×105Ω-cm	10-3～2×106Ω-cm	10-3～2×106Ω-cm
3.測(cè)試電流Test current	0.1μA.μA.0μA，100µA，1mA，10mA，100mA	1μA，10μA，100µA，1mA，10mA，100mA	0.1μA.μA，10μA，100µA，1mA，10mA，100 mA	1μA，10μA，100µA，1mA，10mA，100mA	0.1μA、1μA、10μA，100µA，1mA，10mA，100mA	1μA，10μA，100µA，1mA，10mA，100mA
4.電流精度Current	±0.1% accuracy	±0.2% accuracy	±0.2% accuracy	±0.3% accuracy	±0.3% accuracy	±0.3% accuracy
5.電阻精度Resistance	≤0.3% accuracy	≤0.3% accuracy	≤0.3% accuracy	≤0.5% accuracy	≤0.5% accuracy	≤0.5% accuracy
6.顯示讀數(shù)display	屏液晶顯示：電阻、電阻率、方阻、溫度、單位換算、溫度系數(shù)、電流、電壓、探針形狀、探針間距、厚度、電導(dǎo)率Large screen LCD: Resistance. resistivity. sheet resistance. temperature. unit conversion.temperature coefficient. current. voltage. probe shape. probe spacing. thickness. conductivity
7.測(cè)試方式	test mode雙電測(cè)量Double electrical measurement
8.電源Power	輸入: AC 220V±10%.50Hz 功耗：<30W
9.誤差errors	≤3%（標(biāo)準(zhǔn)樣片結(jié)果）
10.選購(gòu)功能choose to buy	選購(gòu)1.pc軟件；選購(gòu)2.方形探頭；選購(gòu)3.直線形探頭；選購(gòu)4.測(cè)試平臺(tái)；5.標(biāo)準(zhǔn)電阻.1.pc software; 2. square probe; 3. linear probe; 4. test platform
11.測(cè)試探頭test probe	探針間距選購(gòu)：1mm；2mm；3mm三種規(guī)格; 探針材質(zhì)選購(gòu)：碳化鎢針;白鋼針；鍍金磷銅半球形針Optional probe spacing: 1mm；2mm；3mm in three sizes.Select probe material: tungsten carbide needle. white steel needle. gilded copper hemispherical needles.