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顯微激光測振儀MLV-100

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更新時間：2024-02-14 14:39:09瀏覽次數：167次

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產品簡介

MLV-100顯微激光測振儀通過顯微光學系統(tǒng)可實現對微小物體的振動測量，使激光光斑達到微米量級，提高測量的準確性，并可通過顯微成像系統(tǒng)實時觀察物體的振動狀態(tài)。隨著MEMS的日益發(fā)展，顯微式激光測振儀可以測量MEMS元器件的振動和形貌，是專門對微結構的振動測量以及可視化測量分析的理想工具。顯微激光測振儀MLV-100顯微激光測振儀MLV-100

詳細介紹

顯微激光測振儀MLV-100

MLV-100顯微激光測振儀通過顯微光學系統(tǒng)可實現對微小物體的振動測量，使激光光斑達到微米量級，提高測量的準確性，并可通過顯微成像系統(tǒng)實時觀察物體的振動狀態(tài)。
隨著MEMS的日益發(fā)展，顯微式激光測振儀可以測量MEMS元器件的振動和形貌，是專門對微結構的振動測量以及可視化測量分析的理想工具。

點直徑*		大約10um
頻率響應范圍*		DC to 25KHz， DC to 100KHz， DC to 1MHz/2.5MHz
測量速度范圍	法向*	50mm/s,500mm/s,1m/s5m/s10m/s
	切向*	150mm/s, 1500mm/s, 15m/s，30m/s
濾波設置		高通、低通濾波設置
顯微鏡
目鏡	放大倍率	W.D	光束直徑
	5X	34mm	30um
	10X	34mm	20um
	20X/50X	20mm/13mm	10um/2um
X-Y平臺
尺寸	100X100mm
移動范圍	+/-10mm
分辨率	0.001mm