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愛(ài)德華edwards半導(dǎo)體干式真空泵iH1800HTX 干式泵

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iH高真空干泵愛(ài)德華edwards半導(dǎo)體干式真空泵iH1800HTX干式泵我們的iH干泵為高難度的制程（如存在微粒、易冷凝和腐蝕性副產(chǎn)品）提供高度可靠、成本低廉的泵解決方案

詳細(xì)介紹

iH 高真空干泵愛(ài)德華edwards半導(dǎo)體干式真空泵iH1800HTX 干式泵

我們的 iH 干泵為高難度的制程（如存在微粒、易冷凝和腐蝕性副產(chǎn)品）提供高度可靠、成本低廉的泵解決方案。iH 系列具有五級(jí)主泵，使用創(chuàng)新的懸臂式轉(zhuǎn)子、爪式和羅茨設(shè)計(jì)，可改善粉塵的處理，減少排氣噪音。此外，iH 系列泵配有一臺(tái)單級(jí)機(jī)械增壓泵和封閉的水冷卻電機(jī)。

Standard_Body_Image_iH

應(yīng)用

負(fù)載鎖定
轉(zhuǎn)換
計(jì)量
平版印刷
PVD 制程
PVD 預(yù)清潔
RTA
剝離/灰化
刻蝕
植入源
HDP CVD
RTP
SACVD
MCVD
PECVD
LPCVD
ALD

功能與優(yōu)勢(shì)

優(yōu)化了設(shè)施消耗
無(wú)需預(yù)防性維護(hù)
懸臂軸和特殊的異型轉(zhuǎn)子便于顆粒的處理
在節(jié)省電機(jī)功率的同時(shí)提高了工作繁重的 CVD 應(yīng)用條件下的穩(wěn)定性
耐腐蝕的制造材料允許泵送腐蝕性氣體
較高的工作溫度為避免氣體冷凝提供了充分的安全保證
軸桿一體化設(shè)計(jì)無(wú)需電機(jī)聯(lián)軸器，第五抽排級(jí)免除對(duì)消音器的需求，也避免了顆粒堆積，兩者均減少了總體占地空間

概述

Edwards 高級(jí)半導(dǎo)體真空泵已經(jīng)過(guò)現(xiàn)場(chǎng)應(yīng)用證明，可以按照Z(yǔ)高工作標(biāo)準(zhǔn)運(yùn)行。通過(guò)延長(zhǎng)使用壽命、提高運(yùn)行時(shí)間并提高生產(chǎn)率，同時(shí)地減小占地面積、降低運(yùn)行成本，實(shí)現(xiàn)了高的可靠性和性能。

iH1800HTX 專為需要較高的工作溫度以避免制程氣體冷凝的工藝（如 300 mm LPCVD 氮化物）而設(shè)計(jì)。

應(yīng)用

負(fù)載鎖
輸送
計(jì)量
平版印刷
PVD 制程
PVD 預(yù)清潔
RTA
剝離/灰化
刻蝕
植入源
HDP CVD
RTP
SACVD
MCVD
PECVD
LPCVD
ALD

有關(guān)任何特定應(yīng)用條件下 iH 系統(tǒng)穩(wěn)定性的建議，請(qǐng)與 Edwards 聯(lián)系。

iH1800HTX 干式泵 460V，60 Hz，3 相

A

iH1800HTX 干式泵 200/208V，50/60 Hz，3 相

A

iH1800HTX 干式泵 380/415V，50 Hz，3 相

A

iH1800HTX 干式泵 230V，60 Hz，3 相

A

iH1800HTX 干式泵 200/208V，50/60 Hz，3 相

A

功能和優(yōu)勢(shì)

優(yōu)化了設(shè)施消耗。
無(wú)需預(yù)防性維護(hù)。
懸臂軸和特殊的異型轉(zhuǎn)子便于顆粒的處理。
在節(jié)省電機(jī)功率的同時(shí)提高了工作繁重的 CVD 應(yīng)用條件下的穩(wěn)定性。
耐腐蝕的制造材料允許泵送腐蝕性氣體。
較高的工作溫度為避免氣體冷凝提供了充分的安全保證。
整體式軸桿無(wú)需使用電機(jī)聯(lián)結(jié)器，而第五級(jí)泵消除了使用消音器的需要并消除了顆粒堆積，從而降低了總體占地面積。

技術(shù)數(shù)據(jù)

峰值速度	1800 m3h-1
	1060 cfm
	30000 l min-1
極限真空	1 x 10-3 mbar
	7.5 x 10-4 Torr
	0.1 Pa
典型軸封氮流量	4 slm
進(jìn)氣口連接	ISO160
出口連接	NW40
15 psi 壓降下典型冷卻水流量	240 l h-1
	4 l min-1
重量	502 kg
極限功率輸入	4.1 kW
電機(jī)額定功率	7.0 kW
油容量	1.6 l