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SONIC索尼克μLF-300S超聲波液體流量計(jì)

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超音波液體流量計(jì)

超聲波液體流量計(jì)

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產(chǎn)品簡(jiǎn)介

簡(jiǎn)單介紹： SONIC索尼克μLF-300S超聲波液體流量計(jì)SONIC索尼克μLF-300S超聲波液體流量計(jì)SONIC索尼克μLF-300S超聲波液體流量計(jì)

詳細(xì)介紹

詳情介紹：

超聲波液體流量計(jì) μLF-300S（分離式），μLF-300（一體式）

用于控制半導(dǎo)體制造過程中微小區(qū)域中IPA，純水，化學(xué)藥品等的流量

從1 mL / min開始的分鐘流量測(cè)量
通過數(shù)字信號(hào)處理高精度測(cè)量微小流量
傳感器部分不接觸液體的結(jié)構(gòu)
廣泛的能力

（μLF-300S）新（μLF-300）

產(chǎn)品規(guī)格

μLF-300S（分離式傳感器）

檢測(cè)器
型號(hào)	μLF-300S+μLT-8I（1/8英寸）或μLF-300S+μLT-4I（1/4英寸）
測(cè)量原理	超聲波傳播時(shí)差法
待測(cè)液體	純凈水，各種化學(xué)藥品
待測(cè)液體	*請(qǐng)事先檢查水以外的液體
適用流體溫度范圍	15℃?80℃
適用流體溫度范圍	*如果超過60℃，請(qǐng)事先確認(rèn)
流體壓力	0.5MPa以下
流體運(yùn)動(dòng)粘度	100 mm ^ 2 /秒以下
流量范圍	0 ml / min至1000 ml / min（μLF-300S+μLT-8I）
流量范圍	0 ml / min至4000 ml / min（μLF-300S+μLT-4I）
測(cè)量精度	±0.5％RD（1/8英寸：200至1000 ml / min條件：室溫，恒溫水）
	±1毫升/分鐘（1/8英寸：0?199毫升/分鐘）
	±0.5％RD（1/4英寸：800至4000 ml / min條件：室溫，恒溫水）
	±4毫升/分鐘（1/4英寸：0?799毫升/分鐘）
重復(fù)性	±0.2％（純液體溫度±0.5℃，平均值30秒）
電源供應(yīng)	直流24V±10％
耗電量	3.6W以下
機(jī)重	傳感器240g，探測(cè)器70g
尺寸W xH x D（mm）	換能器97 x 49 x 127
尺寸W xH x D（mm）	探測(cè)器90 x 25 x 20（不包括管子）
管材	PFA（氟樹脂）
管徑	1/8英寸外徑：3.17mm，內(nèi)徑：2.17mm，1/4英寸外徑：6.35mm，內(nèi)徑：4.35mm
結(jié)構(gòu)形式	相當(dāng)于IP65
連接電纜	5m，連接器連接
輸入/輸出單元
數(shù)字量輸入/輸出	4線RS-422、4線RS-485
模擬量輸出	4-20mA（瞬時(shí)流量），負(fù)載電阻500Ω以下
集成脈沖輸出	1ch（集電極開路）
報(bào)警輸出	1ch（集電極開路）
接點(diǎn)輸入	1ch（零流量設(shè)定或總**）
按鍵輸入	4輸入按鈕

μLF-300（一體型）

轉(zhuǎn)換器
型號(hào)	μLF-308I（1/8英寸）或μLF-304I（1/4英寸）
測(cè)量原理	超聲波傳播時(shí)差法
測(cè)量液體	水，水溶液，油，各種化學(xué)品
測(cè)量液體	*請(qǐng)事先檢查水以外的液體
適用流體溫度范圍	10°C至60°C
適用流體溫度范圍	*請(qǐng)事先確認(rèn)溫度是否超過60℃
環(huán)境溫度范圍	溫度：0°C至50°C（無冷凝）
流量范圍	0 ml / min至1000 ml / min（μLF-308I）
流量范圍	0 ml / min至4000 ml / min（μLF-304I）
測(cè)量精度	RD±1％（1/8英寸：200?1000ml / min，室溫，水）
	±2毫升/分鐘（1/8英寸：0?199毫升/分鐘）
	RD±1％（1/4英寸：800?4000ml / min，室溫，水）
	±8毫升/分鐘（1/4英寸：0?799毫升/分鐘）
重復(fù)性	±0.2％（液體溫度±0.5°C，平均值為30秒）
反應(yīng)性	10毫秒
結(jié)構(gòu)形式	室內(nèi)規(guī)格（相當(dāng)于IP65）
電源供應(yīng)	直流5V±10％
耗電量	1.5 W以下
機(jī)重	350g（僅機(jī)身）
檢測(cè)器
管材	PFA（氟樹脂）
管徑	1/8英寸外徑：3.17mm，內(nèi)徑：2.17mm，1/4英寸外徑：6.35mm，內(nèi)徑：4.35mm
輸出部分
串列埠	4線RS-422
通訊協(xié)議	數(shù)據(jù)位固定為8位，偶數(shù)固定，停止位固定為1位
波特率	38400波特
串行輸出數(shù)據(jù)內(nèi)容	瞬時(shí)流量值，累計(jì)流量值，錯(cuò)誤代碼