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激光位移傳感器CD5系列

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產(chǎn)品型號(hào)奧泰斯 OPTEX

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更新時(shí)間：2023-09-18 13:32:41瀏覽次數(shù)：203次

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激光位移傳感器CD5系列超高精度,業(yè)界的分辨率和線性精度多重功能,CD5系列激光位移傳感器3個(gè)傳感頭檢測(cè)結(jié)果的多重計(jì)算獨(dú)立應(yīng)用,傳感頭可獨(dú)立于控制器進(jìn)行單體測(cè)量

詳細(xì)介紹

激光位移傳感器

激光位移傳感器CD5系列

半導(dǎo)體行業(yè)特別是半導(dǎo)體的核心晶圓片的生產(chǎn)，要求其厚度的平整精度以及切割的精度達(dá)到微米級(jí)以下，高精度激光測(cè)距（位移）傳感器CD5系列在此背景下研發(fā)成功。

高精度激光測(cè)距（位移）傳感器CD5分辨率高達(dá)0.37um，線性精度高達(dá)0.05% F.S.。

激光束穿過(guò)依靠音叉快速上下振動(dòng)的物鏡聚集在目標(biāo)表面。從目標(biāo)表面反射的光束匯集在小孔處，隨后進(jìn)入感光元件。

激光測(cè)距（位移）傳感器通過(guò)測(cè)量物鏡在感光時(shí)的確切位置精確測(cè)出與目標(biāo)表面的距離，不會(huì)受到目標(biāo)材質(zhì)、顏色或角度的影響。

激光位移傳感器技術(shù)參數(shù)

激光位移傳感器CD5系列感應(yīng)頭

激光位移傳感器CD5系列控制器技術(shù)參數(shù)

激光位移傳感器使用特性

一：數(shù)字亞像素處理

激光位移傳感器CD5系列采用數(shù)字亞像素處理技術(shù)，可以將1個(gè)像素細(xì)分成65536個(gè)亞像素（256×256），使其線性精度比傳統(tǒng)位移傳感器提高了2倍以上。

二：高精度高速度高靈敏度

高精度線性圖像傳感器, CD5的感光元器件采用高精度的線性圖像傳感器。與傳統(tǒng)位移傳感器相比，精度提高5倍，速度提高10倍。

高精度線性圖像傳感器（CCD）

三：高精度感光度修正，高分辨率電子快門速度

高精度感光度修正，高分辨率的電子快門速度為采樣周期的1/485，因此有助于確保穩(wěn)定的受光量峰值狀態(tài)，自動(dòng)優(yōu)化受光量，即使是不穩(wěn)定表面亦能保持穩(wěn)定檢測(cè)。

位移傳感器高精度感光修正

四：高速運(yùn)算處理單元

高速運(yùn)算處理單元，實(shí)現(xiàn)高速度、高精度運(yùn)算測(cè)量結(jié)，內(nèi)置CD5專用的高速運(yùn)算處理單元。從線性圖像傳感器獲取的測(cè)量結(jié)果進(jìn)行迅速的修正失真/優(yōu)化/判定等處理，從而實(shí)現(xiàn)高速及高精度的檢測(cè)。

測(cè)距傳感器高速運(yùn)算處理單元