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CS300質(zhì)量流量控制器&流量計(jì)

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更新時(shí)間：2022-11-06 15:26:56瀏覽次數(shù)：448次

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北京七星華創(chuàng)流量計(jì)有限公司

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產(chǎn)品簡介

CS300氣體質(zhì)量流量控制器是七星流量計(jì)專門為大規(guī)模集成電路裝備設(shè)計(jì)的產(chǎn)品，該產(chǎn)品在原有CS200氣體質(zhì)量流上，采用了基于DF的壓力信號(hào)補(bǔ)小償算法，全量控制器的基礎(chǔ)新的金屬表面處理工藝，產(chǎn)品各項(xiàng)技術(shù)指標(biāo)均嚴(yán)格按照SEM標(biāo)準(zhǔn)，支持Ⅵ型，C型GS氣路系統(tǒng)。

詳細(xì)介紹

優(yōu)勢(shì)

• 準(zhǔn)確度采用設(shè)定點(diǎn)精度，產(chǎn)品精度可達(dá)±1.0% S.P.，響應(yīng)時(shí)間≤ 0.5sec。
• CS300系列產(chǎn)品可帶有壓力補(bǔ)償功能，對(duì)前段氣體壓力的擾動(dòng)進(jìn)行有效的補(bǔ)償，減少壓力變化對(duì)瞬時(shí)流量影響，從而保證產(chǎn)品工作的穩(wěn)定性和準(zhǔn)確性。
• 采用的恒功率傳感器原理，在溫度變化時(shí)進(jìn)行相應(yīng)的補(bǔ)償，從根本上抑制了流量計(jì)的零漂現(xiàn)象，保證了傳感器線性。
• 產(chǎn)品采用專門的金屬表面處理技術(shù)，與氣體接觸的表面金屬材料全部使用316LVV，CS300C產(chǎn)品金屬表面粗糙度更可達(dá)5RA以下，嚴(yán)格按照SEMI標(biāo)準(zhǔn)生產(chǎn)制造。

技術(shù)參數(shù)

CS300
型號(hào)	CS310C		CS320C		CS310D		CS320D
閥類型	常開或常閉	無	常開或常閉	無	常開或常閉	無	常開或常閉	無
流量規(guī)格(N2)	(0～1,2,3,5,10,20,30,50,100,200,300,500) SCCM (0～1,2,3,5,10,20,30) SLM
準(zhǔn)確度
線性	±0.5% F.S.
重復(fù)精度	±0.2% F.S.
響應(yīng)時(shí)間	≤ 0.8sec （≤ 0.5sec optional）
工作壓差范圍	0.05～0.35MPa 流量規(guī)格≤10SLM 0.15～0.35MPa 流量規(guī)格＞10SLM	＜0.02 MPa	0.05～0.35MPa 流量規(guī)格≤10SLM 0.15～0.35MPa 流量規(guī)格＞10SLM	＜0.02 MPa	0.05～0.35MPa 流量規(guī)格≤10SLM 0.15～0.35MPa 流量規(guī)格＞10SLM	＜0.02 MPa	0.05～0.35MPa 流量規(guī)格≤10SLM 0.15～0.35MPa 流量規(guī)格＞10SLM	＜0.02 MPa
溫度系數(shù)	零點(diǎn)：≤±0.02% F.S./℃；調(diào)節(jié)時(shí)：≤±0.05% F.S./℃
耐壓	3.5 MPa
漏率	1×10^-11 Pa·m³ / sec He
密封材料	金屬密封
工作壓力	0.45MPa
工作環(huán)境溫度	（0～50）℃
輸入信號(hào)	數(shù)字：RS485 或 DeviceNet 模擬：(0～5)VDC	無	數(shù)字：RS485 或 DeviceNet 模擬：(0～5)VDC	無	數(shù)字：RS485 或 DeviceNet 模擬：(0～5)VDC	無	數(shù)字：RS485 或 DeviceNet 模擬：(0～5)VDC	無
輸出信號(hào)	數(shù)字：RS485 或 DeviceNet 模擬：(0～5)VDC
零漂	在沒有零點(diǎn)校正時(shí)＜0.6%F.S./年
電源	±8～±16 VDC (雙極) 或 +14～+28 VDC (單極)
表面化學(xué)成分	Cr/Fe比例≥2.0；CrO 厚度≥20 （埃）				-
表面粗糙度	Ra 5μinch
標(biāo)準(zhǔn)接頭形式	VCR1/4陽接頭； 1.125″C型密封接頭 1.125″W型密封接頭		1.5″B型密封接頭 1.5″C型密封接頭 1.5″W型密封接頭		VCR1/4陽接頭； 1.125″C型密封接頭 1.125″W型密封接頭		1.5″B型密封接頭 1.5″C型密封接頭 1.5″W型密封接頭
電源接頭形式	D型9針陽接頭；D型15針陽接頭；DeviceNet接頭
重量	1 Kg	0.8Kg	1.2Kg	1Kg	1 Kg	0.8Kg	1.2Kg	1Kg