燃燒式Scrubber特氣尾氣處理裝置

返回列表頁(yè)

參考價(jià)

面議

具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)

產(chǎn)品型號(hào)

品牌

廠商性質(zhì)其他

所在地

在線詢價(jià) 收藏產(chǎn)品查看聯(lián)系電話

聯(lián)系方式：查看聯(lián)系方式

更新時(shí)間：2022-10-28 17:57:13瀏覽次數(shù)：450次

聯(lián)系我時(shí)，請(qǐng)告知來(lái)自環(huán)保在線

產(chǎn)品分類 品牌分類

  Scrubber尾氣處理設(shè)備

全部產(chǎn)品列表

暫無(wú)信息

深圳沃飛科技有限公司

經(jīng)營(yíng)模式：其他

商鋪產(chǎn)品：34條

所在地區(qū)：

詢價(jià) 給他留言

產(chǎn)品簡(jiǎn)介

燃燒式Scrubber特氣尾氣處理裝置處理氣體種類可處理氣體種類包括半導(dǎo)體、液晶以及太陽(yáng)能等行業(yè)中蝕刻制程與化學(xué)氣相沉積制程中使用的特氣，主要包括SiH4、SiH2Cl2、PH3、B2H6、TEOS、H2、CO、NF3、SF6、C2F6、WF6、NH3、N2O等。

詳細(xì)介紹

燃燒式Scrubber特氣尾氣處理裝置

一．主要特點(diǎn)

1. 獨(dú)立燃燒方式，燃燒之火焰渦流：可燃性毒性氣體從低濃度至99%濃度均可用高溫處理；

2. SiH4與NF3、NO2同時(shí)燃燒：SiH4與NF3、NO2可以同時(shí)于燃燒室中一起燃燒；

3. 基本功能之安全設(shè)計(jì)：異常情況發(fā)生時(shí)，診斷機(jī)能會(huì)自動(dòng)安全處理；

4. 使用刮刀方式，粉塵處理容易：燃燒室內(nèi)部之附著粉塵，可使用獨(dú)立之刮刀容易且確實(shí)地清除；

5. H2、LPG、天然瓦斯(LPG)各種型式：燃料氣體可使用H2、LPG、天然瓦斯(LPG)3 種型式；

6. 保養(yǎng)簡(jiǎn)單：保養(yǎng)可在極短的時(shí)間內(nèi)完成，費(fèi)用也低廉；

7. 高信賴性：構(gòu)造簡(jiǎn)單且零件數(shù)少，值得高度信賴。

二．燃燒式Scrubber特氣尾氣處理裝置處理氣體種類

可處理氣體種類包括半導(dǎo)體、液晶以及太陽(yáng)能等行業(yè)中蝕刻制程與化學(xué)氣相沉積制程中使用的特氣，主要包括SiH4、SiH2Cl2、PH3、B2H6、TEOS、H2、CO、NF3、SF6、C2F6、WF6、NH3、N2O等。

三．燃燒式Scrubber特氣尾氣處理裝置處理原理

1. 冷卻空氣之一部份在燃燒室內(nèi)形成火焰渦流，制程氣體會(huì)卷入燃燒；

2. Guardian之火焰渦流可將SiH4等氣體，破壞其氣泡產(chǎn)生；

3. 冷卻空氣在機(jī)臺(tái)內(nèi)部循環(huán)，燃燒室外部使用空氣冷卻。并可使排氣溫度冷卻下降，而且可將燃燒后之氧化物排出等多樣功能；

4. 熱電對(duì)之安全裝置，可監(jiān)視燃燒室溫度、排氣溫度、Process Gas導(dǎo)入管溫度。另外Photo sensor可監(jiān)視熄火，差壓計(jì)可檢視排氣風(fēng)量。