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微機(jī)械激光光束偏轉(zhuǎn)器

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更新時間：2024-11-11 13:17:10瀏覽次數(shù)：64次

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  光學(xué)產(chǎn)品

衛(wèi)星地面站光纖傳輸光端機(jī)

射頻光電/光纖模塊

RF Over Fiber

射頻光電轉(zhuǎn)換模塊

射頻光收發(fā)模塊

射頻光模塊

光過載保護(hù)

光學(xué)橋接器、optical hybrid

微機(jī)械激光掃描鏡

復(fù)用解復(fù)用Mux DeMux AWG

射頻/微波光纖傳輸模塊

黑體

電光調(diào)制器

高速光開關(guān)

光纖延遲線

激光光源

LED測試設(shè)備及系統(tǒng)

紫外深紫外LED

光學(xué)透鏡

光束整形鏡

自適應(yīng)光學(xué)系統(tǒng)

表面等離子體共振儀

光譜儀

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膜厚測量儀

光學(xué)傳感器及儀表

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北京錦坤科技有限公司

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產(chǎn)品簡介

本產(chǎn)品為基于微光機(jī)電的微機(jī)械激光光束偏轉(zhuǎn)器（MEMS laser deflection mirror），微光機(jī)電激光掃描器，也成為MEMS激光掃描鏡。廣泛應(yīng)用于數(shù)據(jù)采集，投影以及其它各種應(yīng)用場合。微機(jī)械激光光束掃描鏡可提供小尺寸，大掃描角度，高掃描頻率的產(chǎn)品，適用于各種小體積的產(chǎn)品中。

詳細(xì)介紹

本產(chǎn)品為基于微光機(jī)電的微機(jī)械激光光束偏轉(zhuǎn)器（MEMS laser deflection mirror），微光機(jī)電激光光束掃描器，也成為MEMS激光光束掃描鏡。廣泛應(yīng)用于數(shù)據(jù)采集，投影以及其它各種應(yīng)用場合。微機(jī)械光束掃描鏡可提供小尺寸，大掃描角度，高掃描頻率的產(chǎn)品，適用于各種小體積的產(chǎn)品中。本品為單個微機(jī)械激光光束掃描偏轉(zhuǎn)鏡，另外本系列產(chǎn)品還包含有1D微機(jī)械激光光束偏轉(zhuǎn)器（一維微光機(jī)電激光光束掃描偏轉(zhuǎn)器）及2D微機(jī)械激光光束偏轉(zhuǎn)器（二維微光機(jī)電激光掃描偏轉(zhuǎn)器）。

Micro mechanical scanning mirrors offer a high degree of miniaturization, high scan frequencies, high mechanical robustness and the potential for low cost manufacturing at high volumes. MEMS scanners are very promising especially for small and portable systems.

本微機(jī)械激光光束偏轉(zhuǎn)器（微光機(jī)電激光光束掃描偏轉(zhuǎn)鏡）指標(biāo)如下：
MEMS Scanner
Scanner type                                     Electrostatic resonant 1D
Scanning frequency                            500 Hz … 50 kHz (≥ 200 Hz on request)
Optical scan angle (FOV)                     Depending on scanner, optical scan angle up to 80°
                                                       (mechanical scan angle  ±20°) supported
Active mirror diameter                         1 … 4 mm
Active mirror surface                           Aluminum, reflectivity 88 ... 90% in visible
wavelength range                              (400 … 700 nm)

Scan Head
Substrates with available technologies    Ceramic (standard), glass or PCB on request
Sealing                                              Dust-proof
Optical interface                                 Dome with anti-reflective coating;
                                                        option: plane window on request
Mirror position control                          Optical, integrated in scan head, signal processing on driving electronics board
Electrical interface                               Flexible flat cable connected to sensor system
Module footprint                                 16 × 23 mm²
Working temperature                          0 … 45 °C (extended temperature range on request)

Driving Electronics Board
Dimensions                                         77 × 46 mm²
Supply voltage                                    5 V DC
Internally generated driving
voltage for scanner                             15 V … 200 V, max. 3 mA
Operating modes of thescanner control amplitude-controlled (above 8° scanning angle) or voltage-controlled