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行業(yè)產(chǎn)品

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科賦樂精密儀器(上海)有限公司


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低壓調(diào)節(jié)專用精密調(diào)節(jié)器 壓力調(diào)節(jié)閥

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產(chǎn)品型號MODEL 6610 SERIES

品       牌

廠商性質(zhì)其他

所  在  地上海市

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更新時(shí)間:2022-10-19 18:21:07瀏覽次數(shù):191次

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產(chǎn)品簡介

MODEL6610SERIES與MODEL6600相比,新開發(fā)的本儀器在低壓側(cè)精度更高,重現(xiàn)性更好,能夠快速準(zhǔn)確地進(jìn)行壓力調(diào)節(jié)

詳細(xì)介紹

MODEL 6610 SERIES

與MODEL6600相比,新開發(fā)的本儀器在低壓側(cè)精度更高,重現(xiàn)性更好,能夠快速準(zhǔn)確地進(jìn)行壓力調(diào)節(jié)。
本產(chǎn)品用于高靈敏度的分析儀器、研究開發(fā)或半導(dǎo)體制造設(shè)備。

  • 具有低壓側(cè)高精度控制的特性
    將壓力設(shè)為0.01?0.15MPa,在此條件下對于一次側(cè)壓力變化、二次側(cè)負(fù)荷電阻變化,具有重現(xiàn)性在±1%以內(nèi)的高控制性能。
  • 不使用潤滑油
    接觸氣體部分由不銹鋼、氟橡膠、氟樹脂制成,不使用任何潤滑油,需要保持純凈狀態(tài)的半導(dǎo)體領(lǐng)域等。
  • 防松螺母結(jié)構(gòu)
    通過防松螺母固定設(shè)定過一次的壓力調(diào)節(jié)位置,可防止設(shè)定發(fā)生變化。
  • 不滲液型
    本產(chǎn)品屬于不滲液型,不會(huì)發(fā)生氣體外泄,請您放心使用。

用途

  • 用于氣相色譜儀
  • 用于高純度氣體控制
  • 用于低壓控制設(shè)備
  • 用于半導(dǎo)體領(lǐng)域等
     

尺寸圖 

標(biāo)準(zhǔn)規(guī)格

流體 各種氣體
一次側(cè)壓力 0.4MPa
二次側(cè)控制壓力 0.01?0.15MPa
流量 5L/MIN
最小工作壓差 0.1MPa以上
耐壓力 0.8MPa
重現(xiàn)性 在額定壓力的±1%范圍內(nèi)
環(huán)境溫度 5?60℃
接口 Rc1/8
流體接觸部分材質(zhì) SUS316、氟橡膠、硬質(zhì)玻璃
氟樹脂、SUS304、SUS303


流量特性

特殊規(guī)格

  • 標(biāo)準(zhǔn)規(guī)格以外的接頭。

訂購方法

  • 接口接頭時(shí),僅IN OUT接頭。
    儀表端口為止水栓。
  • 壓力表口等價(jià)于OUT口。
    可任意將某處設(shè)為表口或OUT口。
     

關(guān)于本產(chǎn)品的咨詢

關(guān)鍵詞:氣相色譜儀 壓力表

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