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小型數(shù)字質(zhì)量流量控制器/儀表

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產(chǎn)品型號MODEL EX-250S SERIES

品       牌

廠商性質(zhì)其他

所  在  地上海市

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更新時間:2023-12-06 13:45:30瀏覽次數(shù):197次

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產(chǎn)品簡介

MODELEX-250SSERIES它是一種數(shù)字質(zhì)量流量設(shè)備,通過標準通信功能(RS485)實現(xiàn)高精度和高速響應,同時結(jié)構(gòu)緊湊,采用高速繞線傳感器和內(nèi)部開發(fā)的具有出色穩(wěn)定性的小型比例電磁閥

詳細介紹

MODEL EX-250S SERIES

它是一種數(shù)字質(zhì)量流量設(shè)備,通過標準通信功能(RS 485)實現(xiàn)高精度和高速響應,同時結(jié)構(gòu)緊湊,采用高速繞線傳感器和內(nèi)部開發(fā)的具有出色穩(wěn)定性的小型比例電磁閥。

  • 小型質(zhì)量流量裝置(W76 x D30 x H76)
  • 高速應答及出色的零點穩(wěn)定性
    □0-5V或4-20mA輸入/輸出信號,電源
    可從±15 V或24 V單電源選擇
  • 電源連接器采用通用性較高的D-sub9針連接器
  • 通過切換旋轉(zhuǎn)開關(guān),可以使用主機中登記的氣體類型。
    ※流量是與N2氣體的比率計算出的值
  • 標準配備通訊功能(RS485)
  • 符合RoHS?CE標準

EX-250S標準規(guī)格

形式 質(zhì)量流量控制器
EX-250SC
質(zhì)量流量計

EX-250SM
傳感器方式 熱繞組傳感器
閥門方式 比例螺線管閥門(未通電時關(guān)閉)
目標氣體(* 1) N2,Air,H2,He,Ar,O2,CO2等

(未列出的氣體換算成N2)
流量范圍(* 2) 10 SCCM~5 SLM
控制范圍(測量范圍) 2~100%(F.S.)
響應速度 總流量控制范圍在1sec內(nèi)(within±2%F.S.)
L:50kPa~149kPa H:150kPa~300kPa
精度(* 3) ±1.0%F.S.
再現(xiàn)性 ±0.2%F.S.
工作壓差(* 4) 50~300 kPa(Ar,CO2:100 kPa~300 kPa)
入口壓力 500kPa(G)
耐壓 980kPa(G)
He泄漏率(* 5) 1 x 10-8 Pa.m3 / sec以下
溫度 允許周圍溫度 5~50℃
精度保證溫度 15~35℃
允許儲存溫度 -10~60℃
允許環(huán)境濕度 10~90%RH (無結(jié)露)
氣體接觸材料 SUS316,SUS316L,磁性不銹鋼(* 6),PTFE,F(xiàn)KM
電氣連接 Dsub 9針KFC標準(符合SEMI標準)
HR-10A
流量設(shè)定輸入信號 0~5 VDC(輸入電阻約1MΩ)
Or 4~20mA(輸入電阻約250Ω)
流量輸出信號 0~5 VDC(負載電阻10kΩ以上)
or 4~20mA(負載電阻500Ω以下)
數(shù)字通信 通過RS485旋轉(zhuǎn)開關(guān)設(shè)置地址
所需電源(DC) +15 VDC(±5%)100 mA以下,-15 VDC(±5%)150 mA以下
or+ 24VDC(±10%)180mA以下(MFM都為100mA以下)
接頭(* 7) 1/4F900(標準)
安裝姿勢 推薦水平方向
重量(* 8) 約500g 約440g

(* 1)干燥氣體,不含腐蝕性成分和灰塵,霧氣等的干凈氣體。

(* 2)流量單位SCCM、SLM是將質(zhì)量流量換算成0℃、1atm狀態(tài)下的體積流量cc/min、L/min值。

(* 3)流量范圍(滿量程)的精度。

(* 4)工作壓差可能因規(guī)格而異。

(* 5)不含滲透。長期滲透引起的泄漏量(參考值)為1×10.6Pa?m3 / sec以下。

(* 6)質(zhì)量流量計不使用磁性不銹鋼。

(* 7)如需其他接頭,請另行詢問。

(* 8)重量不含接頭。

尺寸圖

接線連接

SW1氣體類型分配表


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