它是一款全金屬MFC，配備高速繞線傳感器，具有出色的內(nèi)部開發(fā)穩(wěn)定性。
SEMI兼容106mm（可選擇124mm）表面，RS485通信是標準配置。
高精度腐蝕性氣體兼容產(chǎn)品，1.0％SP。
- 金屬密封結(jié)構(gòu)
- 高速應(yīng)答及出色的零點穩(wěn)定性
- 0-5V或4-20mA輸入/輸出信號，電源
可從±15 V或24 V單電源選擇
□電源連接器采用通用性較高的D-sub9針連接器 - 通過切換旋轉(zhuǎn)開關(guān)，可以使用主機中登記的氣體類型。
※流量是與N2氣體的比率計算出的值 - 標準配備通訊功能（RS485）
- 符合RoHS?CE標準
EX-550標準規(guī)格
| 形式 | 質(zhì)量流量控制器 EX-550C | 質(zhì)量流量計 EX-550M | |
|---|---|---|---|
| 傳感器方式 | 熱繞組傳感器 | ||
| 閥門方式 | 比例螺線管閥門（未通電時關(guān)閉） | – | |
| 目標氣體（* 1） | N2，Air，H2，He，Ar，O2，CO2等 （未列出的氣體換算成N2） | ||
| 流量范圍（* 2） | 10 SCCM~5 SLM | ||
| 控制范圍（測量范圍） | 2~100％（F.S.） | ||
| 響應(yīng)速度 | 總流量控制范圍在1sec內(nèi)（within±2%F.S.） | ||
| L：50kPa~149kPa H：150kPa~300kPa | – | ||
| 精度 | ±1.0％SP（25％FS至100％FS），±0.25％FS（25％FS） | ||
| 再現(xiàn)性 | ±0.2%F.S. | ||
| 工作壓差（* 3） | 50~300 kPa（Ar，CO2：100 kPa~300 kPa） | – | |
| 入口壓力 | 350kPa（G） | ||
| 耐壓 | 980kPa（G） | ||
| He泄漏率 | 1 x 10-11 Pa.m3 / sec以下 | ||
| 溫度 | 允許周圍溫度 | 5～50℃ | |
| 精度保證溫度 | 15～35℃ | ||
| 允許儲存溫度 | -10～60℃ | ||
| 允許環(huán)境濕度 | 10～90%RH （無結(jié)露） | ||
| 氣體接觸材料 | SUS316L，磁性不銹鋼，PTFE，Ni-Co | ||
| 電氣連接 | Dsub 9針KFC標準（符合SEMI標準） HR-10A×2 | ||
| 流量設(shè)定輸入信號 | 0~5 VDC（輸入電阻約1MΩ） Or 4~20mA（輸入電阻約250Ω） | – | |
| 流量輸出信號 | 0~5 VDC（負載電阻10kΩ以上） or 4~20mA（負載電阻500Ω以下） | ||
| 數(shù)字通信 | 通過RS485旋轉(zhuǎn)開關(guān)設(shè)置地址 | ||
| 所需電源（DC） | +15 VDC（±5％）100 mA以下，-15 VDC（±5％）150 mA以下 or+ 24VDC（±10％）180mA以下（MFM都為100mA以下） | ||
| 接頭 | 相當于1/4 VCR | ||
| 安裝姿勢 | 未 | ||
| 重量 | 約800g | 約550g | |
（* 1）干燥氣體，不含腐蝕性成分和灰塵，霧氣等的干凈氣體。
（* 2）流量單位SCCM、SLM是將質(zhì)量流量換算成0℃、1atm狀態(tài)下的體積流量cc/min、L/min值。
（* 3）工作壓差可能因規(guī)格而異。
尺寸圖
接線連接
SW1氣體類型分配表
