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SKY CDG025D-X3 4-20mA current loop 0.1 ... 1000 托 / 毫巴過(guò)程壓力真空計(jì)

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SKY CDG025D-X3 4-20mA current loop 0.1 ... 1000 托 / 毫巴過(guò)程壓力真空計(jì)

詳細(xì)介紹

好處

全刻度范圍從 100 毫托 … 1000 托
電源接通后快速穩(wěn)定
暴露于大氣壓后快速恢復(fù)
防腐陶瓷傳感器
的長(zhǎng)期信號(hào)穩(wěn)定性
溫度補(bǔ)償
傳感器防污染雙層保護(hù)
一鍵調(diào)零功能
電源范圍廣
2 個(gè)設(shè)定點(diǎn)
RS232 接口
Remote zero included
符合潔凈室標(biāo)準(zhǔn)
Status LED

典型應(yīng)用

用于刻蝕、CVD、PVD、ALD 的半導(dǎo)體生產(chǎn)設(shè)備
數(shù)據(jù)存儲(chǔ)和顯示制造設(shè)備
工業(yè)真空設(shè)備
常規(guī)高精度壓力測(cè)量

規(guī)格

類型		1000 Torr / 1100 mbar	500 ... 10 Torr / mbar	1 Torr / mbar	0.25 Torr	0.1 Torr / mbar
精度 (1)	% of reading	0.2	0.2	0.2	0.25	0.5
溫度效應(yīng)
零點(diǎn)	percent FS/°C	0.005	0.005	0.015	0.02	0.02
滿量程	% of reading / °C	0.01	0.01	0.01	0.03	0.03
分辨率	percent FS	0.003	0.003	0.003	0.003	0.003
壓力，	kPa (absolute)	300	200	200	200	130
反應(yīng)時(shí)間 (2)	ms	≤100	≤100	≤100	≤100	≤100
讀數(shù)	percent FS	0.01	0.01	0.01	0.01	0.01
建議的讀數(shù)	percent FS	0.05	0.05	0.05	0.05	0.05
建議的控制壓力	percent FS	0.5	0.5	0.5	0.5	0.5
溫度
運(yùn)行（環(huán)境）	°C	+5 … +60	+5 … +60	+5 … +60	+5 … +60	+5 … +60
在法蘭處烘烤 (4)	°C	≤110	≤110	≤110	≤110	≤110
貯存	°C	–20 … +65	–20 … +65	–20 … +65	–20 … +65	–20 … +65
電源電壓	V (dc)	+21 … +27	+21 … +27	+21 … +27	+21 … +27	+21 … +27
76b34a4a-4e29-4c2f-b9f5-f7c162f44101
Signal range	mA	3.8 ... 20.2	3.8 ... 20.2	3.8 ... 20.2	3.8 ... 20.2	3.8 ... 20.2
Measuring range (zero ...FS)	mA	4.0 ... 20.0	4.0 ... 20.0	4.0 ... 20.0	4.0 ... 20.0	4.0 ... 20.0
Relationship current-pressure		linear	linear	linear	linear	linear
Loaded impedance RL
33b4d39f-dcb0-4da6-b8bb-405bbe6e5695		typical 500Ω ±1% 24±3 V (dc) (4)	typical 500Ω ±1% 24±3 V (dc) (4)	typical 500Ω ±1% 24±3 V (dc) (4)	typical 500Ω ±1% 24±3 V (dc) (4)	typical 500Ω ±1% 24±3 V (dc) (4)
absolute		309 ... 657 Ω at 24 V (dc) (4)	309 ... 657 Ω at 24 V (dc) (4)	309 ... 657 Ω at 24 V (dc) (4)	309 ... 657 Ω at 24 V (dc) (4)	309 ... 657 Ω at 24 V (dc) (4)
absolute		309 ... 657 Ω at 24 V (dc) (4)	309 ... 657 Ω at 24 V (dc) (4)	309 ... 657 Ω at 24 V (dc) (4)	309 ... 657 Ω at 24 V (dc) (4)	309 ... 657 Ω at 24 V (dc) (4)
absolute		309 ... 657 Ω at 24 V (dc) (4)	309 ... 657 Ω at 24 V (dc) (4)	309 ... 657 Ω at 24 V (dc) (4)	309 ... 657 Ω at 24 V (dc) (4)	309 ... 657 Ω at 24 V (dc) (4)
remote zero input
High level		+21 ... +27 V(dc) / ≤8 mA	+21 ... +27 V(dc) / ≤8 mA	+21 ... +27 V(dc) / ≤8 mA	+21 ... +27 V(dc) / ≤8 mA	+21 ... +27 V(dc) / ≤8 mA
Low level	V (dc)	≤2
Remote zero function
High level (pulse >1s)		auto zero adjust	auto zero adjust	auto zero adjust	auto zero adjust	auto zero adjust
Low level			measurement operation	measurement operation	measurement operation	measurement operation
保護(hù)等級(jí)		IP 30	IP 30	IP 30	IP 30	IP 30
標(biāo)準(zhǔn)
CE 合規(guī)		EN 61000?6?2, EN 61000-6-3, EN 61010, 61326-1 & RoHS	EN 61000?6?2, EN 61000-6-3, EN 61010, 61326-1 & RoHS	EN 61000?6?2, EN 61000-6-3, EN 61010, 61326-1 & RoHS	EN 61000?6?2, EN 61000-6-3, EN 61010, 61326-1 & RoHS	EN 61000?6?2, EN 61000-6-3, EN 61010, 61326-1 & RoHS
ETL 認(rèn)證		UL 61010?1, CSA 22.2 No.61010?1	UL 61010?1, CSA 22.2 No.61010?1	UL 61010?1, CSA 22.2 No.61010?1	UL 61010?1, CSA 22.2 No.61010?1	UL 61010?1, CSA 22.2 No.61010?1
電氣連接		D-Sub, 9-pin, male	D-Sub, 9-pin, male	D-Sub, 9-pin, male	D-Sub, 9-pin, male	D-Sub, 9-pin, male
Sensor cable
Without remote zero		two-wire cable plus shielding, twisted	two-wire cable plus shielding, twisted	two-wire cable plus shielding, twisted	two-wire cable plus shielding, twisted	two-wire cable plus shielding, twisted
With remote zero		four-wire cable plus shielding, twisted	four-wire cable plus shielding, twisted	four-wire cable plus shielding, twisted	four-wire cable plus shielding, twisted	four-wire cable plus shielding, twisted
暴露于真空的材料		Aluminum oxide ceramic (AI₂O₃), stainless steel (AISI 316L ⁽⁵⁾)	Aluminum oxide ceramic (AI₂O₃), stainless steel (AISI 316L ⁽⁵⁾)	Aluminum oxide ceramic (AI₂O₃), stainless steel (AISI 316L ⁽⁵⁾)	Aluminum oxide ceramic (AI₂O₃), stainless steel (AISI 316L ⁽⁵⁾)	Aluminum oxide ceramic (AI₂O₃), stainless steel (AISI 316L ⁽⁵⁾)
內(nèi)部容積
內(nèi)部容積 1/2'' 管	cm³ (in.³)	3.6 (0.22)	3.6 (0.22)	3.6 (0.22)	3.6 (0.22)	3.6 (0.22)
內(nèi)部容積 DN 16 ISO KF	cm³ (in.³)	3.6 (0.22)	3.6 (0.22)	3.6 (0.22)	3.6 (0.22)	3.6 (0.22)
內(nèi)部容積 DN 16 CF-R	cm³ (in.³)	3.6 (0.22)	3.6 (0.22)	3.6 (0.22)	3.6 (0.22)	3.6 (0.22)
內(nèi)部容積 8 VCR®	cm³ (in.³)	3.6 (0.22)	3.6 (0.22)	3.6 (0.22)	3.6 (0.22)	3.6 (0.22)
重量
重量 1/2'' 管	g	310	310	310	310	310
重量 DN 16 ISO KF	g	330	330	330	330	330
重量 DN 16 CF-R	g	350	350	350	350	350
重量 8 VCR®	g	370	370	370	370	370