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CPPSZ真空加熱探針臺(tái)

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更新時(shí)間：2024-09-03 08:29:13瀏覽次數(shù)：179次

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濟(jì)南創(chuàng)譜儀器有限公司

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產(chǎn)品簡(jiǎn)介

產(chǎn)品簡(jiǎn)介：產(chǎn)品名稱：真空加熱探針臺(tái)產(chǎn)品型號(hào)：CPPSSZ32真空度：優(yōu)于5Pa加熱溫度：300℃

詳細(xì)介紹

真空加熱探針臺(tái).jpg

名稱：真空加熱探針臺(tái)

型號(hào)：CPPSSZ32

外形尺寸：450×600×1200mm（加整體焊接支架）

產(chǎn)品應(yīng)用：晶圓/半導(dǎo)體材料氣敏測(cè)試，IV,CV,PIV測(cè)試，高溫?zé)o氧化測(cè)試等

適用于樣品尺寸：低于4英寸

真空獲得方式：機(jī)械泵抽真空

樣品盤(pán)加熱溫度：300℃，溫控精度±1℃

測(cè)試漏電流精度：100fA

探針調(diào)節(jié)精度：10微米（也可選擇5微米，3微米，1微米精度）

CPPSSZ系列真空加熱探針臺(tái)配置單
真空腔	尺寸320×230×210mm，材質(zhì)優(yōu)質(zhì)鋁合金，內(nèi)表面電解拋光，外表面陽(yáng)極氧化本色
	上蓋40直徑石英觀察窗，可開(kāi)啟，下表面可以和光學(xué)平臺(tái)直接連接
	配有多個(gè)接口，2個(gè)KF16,4個(gè)KF25,一個(gè)備用充氣口，一個(gè)旋轉(zhuǎn)控制閥門(mén)，一個(gè)放氣閥門(mén)口
溫控樣品盤(pán)	尺寸4英寸，鋁合金材質(zhì)，平面度5微米
溫控樣品盤(pán)	溫控儀采用日本島電溫控器，顯示精度0.1℃，溫控精度±1℃，可達(dá)300℃
探針座	10微米三維調(diào)節(jié)，可調(diào)磁力底座，萬(wàn)向調(diào)節(jié)夾具，配備美國(guó)進(jìn)口愛(ài)默生線和進(jìn)口三同軸接口
真空獲得以及測(cè)量系統(tǒng)	采用成都睿寶真空計(jì)，安裝1個(gè)全金屬電阻規(guī)
真空獲得以及測(cè)量系統(tǒng)	真空泵選擇合資機(jī)械泵，抽速6L/秒
顯微鏡系統(tǒng)	放大倍數(shù)7-180倍無(wú)級(jí)調(diào)節(jié)，500萬(wàn)像素，搭配8寸顯示器，匹配萬(wàn)向調(diào)節(jié)架和升降臺(tái)，可以無(wú)級(jí)調(diào)節(jié)