美國(guó)ALICAT LLF4系列質(zhì)量流量計(jì)-耐腐蝕 Alicat的LLF4系列數(shù)字式質(zhì)量流量計(jì)可精確、快速測(cè)量腐蝕性氣體(如：NH3、H2S、CL2、SO2、SiH4等)的質(zhì)量流量、體積流量、壓力和溫度。LKF5系列質(zhì)量流量控制器通過定制化的高速比例控制閥還可精確控制腐蝕性過程氣體的質(zhì)量流量、體積流量和壓力。

詳細(xì)介紹

性能參數(shù)

性能/參數(shù)	LLF4系列質(zhì)量流量計(jì)
流量范圍	0.5SCCM-5000SLPM 可自行修改流量單位如kg/h、g/min等
標(biāo)定氣體	內(nèi)置130條氣體可選擇含腐蝕氣體(如：NH3、H2S、CL2、SO2、SiH4等)
精度(調(diào)零后)	±(0.8%Rd+0.2%FS)
高精度(調(diào)零后)	±(0.4%Rd+0.2%FS),限于5SCCM-500SLPM
重復(fù)性	±0.2%FS
漂移(零點(diǎn)/滿量程)	0.02% F.S/oC/Atm
工作范圍	0.5-99%
響應(yīng)時(shí)間	10毫秒(調(diào)整)
啟動(dòng)預(yù)熱時(shí)間	1秒內(nèi)
標(biāo)準(zhǔn)工況	25oC & 14.696 psia，可自定義修改
工作溫度范圍	-10~-50℃(另有高溫訂制品)
工作濕度范圍	0-99%RH(非冷凝)
工作壓力	10Bar
壓差	5Bar
安裝方向	任意
閥門狀態(tài)	常閉
材質(zhì)	SUS316L不銹鋼、密封圈FFKM(Kalrez)
顯示屏	背光LCD顯示屏，同時(shí)顯示流量、壓力、溫度
數(shù)字信號(hào)	標(biāo)準(zhǔn)RS232 選配:RS485、MODBUS-RTU、PROFIBUS、DeviceNet 以太網(wǎng)RJ45(EtherCAT/Ethernet/IP/Modbus TCP-IP)
模擬信號(hào)	標(biāo)準(zhǔn)0-5V/1-5V/0-10V 選配:4-20mA
第二路模擬信號(hào)	標(biāo)準(zhǔn)0-5V/1-5V/0-10V 選配:4-20mA
電氣接口	標(biāo)準(zhǔn)圓形8芯選配:圓形6芯、DB9、DB15
供電電壓	+24VDC
消耗電流	100mA

電氣連接

針腳/顏色	定義
1針(黑色)	4-20MA輸出信號(hào)，如選擇0-5V/10V 連接6針
2針(棕色)	不用連接,如選第二路輸出信號(hào)可接
3針(紅色)	RS232 輸入串口RS232 輸入串口
4針(橘色)	遠(yuǎn)程清零
5針(黃色)	RS232 輸出串口
6針(綠色)	0-5V或0-10V輸出信號(hào)
7針(藍(lán)色)	+24VDC供電
8針(紫色)	接地(同時(shí)作用于電源、通訊、模擬)

備注：以上是標(biāo)配圓新8芯接線注解，其他接口

壓損、管路接口

流量	壓損(PSID),排放大氣中	接口
0.5-1SCCM	1.0	1/8NPT母螺紋
2-50SCCM	1.0
100SCCM-20SLPM	1.0
50SLPM	2.0	1/4NPT母螺紋
100SLPM	2.5	1/4NPT母螺紋
250SLPM	2.1	1/2NPT母螺紋
500SLPM	4.0	3/4NPT母螺紋
1000SLPM	6.0
1500SLPM	9.0
2000SLPM	5.0
3000SLPM	7.1	1-1/4NPT母螺紋
4000SLPM	2.7	2"NPT母螺紋
500SLPM	3.4	2"NPT母螺紋