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德國Iplas 微波等離子化學(xué)氣相沉積系統(tǒng)

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更新時間：2023-06-16 19:25:59瀏覽次數(shù)：184次

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德國Iplas微波等離子化學(xué)氣相沉積詳細介紹德國IPLAS微波等離子化學(xué)氣相沉積技術(shù)（MPCVD),通過等離子增加前驅(qū)體的反應(yīng)速率，降低反應(yīng)溫度

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德國 Iplas 微波等離子化學(xué)氣相沉積

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德國 IPLAS 微波等離子化學(xué)氣相沉積技術(shù)（MPCVD), 通過等離子增加前驅(qū)體的反應(yīng)速率，降低反應(yīng)溫度。適合制備面積大、均勻性好、純度高、結(jié)晶形態(tài)好的高質(zhì)量硬質(zhì)薄膜和晶體。

MPCVD是的制備大尺寸單晶金剛石有效手段之一。德國iplas公司的 CYRANNUS® 等離子技術(shù)解決了傳統(tǒng)等離子技術(shù)的局限，可以在10mbar到室壓范圍內(nèi)激發(fā)高穩(wěn)定度的等離子團，限度的減少了因氣流、氣壓、氣體成分、電壓等因素波動引起的等離子體狀態(tài)的變化，從而確保單晶生長的持續(xù)性，為合成大尺寸單晶金剛石提供有力保證。