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光譜橢偏儀

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更新時(shí)間：2022-12-31 17:23:37瀏覽次數(shù)：396次

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產(chǎn)品簡介

產(chǎn)品介紹：光譜橢偏儀是一種靈活的光學(xué)技術(shù)，可用于確定薄膜材料的光學(xué)和物理性能

詳細(xì)介紹

產(chǎn)品介紹：

光譜橢偏儀是一種靈活的光學(xué)技術(shù)，可用于確定薄膜材料的光學(xué)和物理性能。在沒有接觸或損害材料的情況下，它的技術(shù)已經(jīng)應(yīng)用于研發(fā)實(shí)驗(yàn)室和用于監(jiān)測薄膜生長和沉積過程的制造設(shè)備。依賴于樣品反射的偏振光束的偏振狀態(tài)的確定。當(dāng)進(jìn)行SE測量時(shí)，在寬波長范圍內(nèi)的許多波長處確定偏振狀態(tài)。通過模型可以將偏振狀態(tài)的變化追溯到薄膜的物理性質(zhì)。材料的層厚、表面粗糙度、折射率（n）和消光系數(shù)（k）等特性可以通過回歸分析精度確定。SE儀器使用白光源，并選擇單獨(dú)的波長進(jìn)行電機(jī)驅(qū)動單色儀或可同時(shí)檢測多個(gè)波長的多通道檢測器進(jìn)行檢測。增加采集數(shù)據(jù)的角度和波長數(shù)量可提高分析精度，復(fù)雜的層結(jié)構(gòu)。

產(chǎn)品參數(shù)：

波長范圍	250~1100mm
光斑尺寸	1~5mm
試樣尺寸	直徑達(dá)300mm
測量厚度范圍	高達(dá)10μm
測量時(shí)間	典型的1s每次
角度范圍	10到90度 5度為一個(gè)間隔
精度	優(yōu)于0.25%
重復(fù)性	＜1A