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SEC-400MK3質(zhì)量流量控制器

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更新時間：2024-03-10 16:24:52瀏覽次數(shù)：208次

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產(chǎn)品簡介

概要MARK3系列是在未改變質(zhì)量流量控制器所必須的品質(zhì)特性的條件下實現(xiàn)成本降低的量產(chǎn)產(chǎn)品

詳細介紹

概要

MARK3系列是在未改變質(zhì)量流量控制器所必須的品質(zhì)特性的條件下實現(xiàn)成本降低的量產(chǎn)產(chǎn)品。材質(zhì)和泄漏規(guī)格則與一般型號產(chǎn)品的SEC-400、SEC-500系列一致。主要用途為制程用的氣體流量控制、根據(jù)重點關(guān)注于重復性以及限定氣體的種類、流量進行大量生產(chǎn)、實現(xiàn)了大幅度的成本降低。于定流量、長時間的穩(wěn)定控制重復控制的場合。而且也同樣適用于研究所的簡易流量控制。

特征

搭載熱感閥
追求成本優(yōu)勢、實現(xiàn)成本降低

規(guī)格

SEC-400MK3

氣體接觸部材質(zhì)	SUS-316、氟化橡膠
閥門類型	NO: 非通電時：開
標準流量量程	10/20/50/100/200/500 SCCM 1/2/3/5 SLM ：空氣.N2.O2.Ar.H2.He
流量控制范圍	5?100％ F.S.(滿量程)
流量精度	±2.0％ F.S.(滿量程)

SEC-500MK3

氣體接觸部材質(zhì)	SUS-316、氟化橡膠
閥門類型	NO: 非通電時：開
標準流量量程	10/20 SLM ：空氣.N2.O2.Ar.H2.He
流量控制范圍	5?100％ F.S.(滿量程)
流量精度	±2.0％ F.S.(滿量程)