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硅片拋光液

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更新時(shí)間:2022-11-08 14:44:08瀏覽次數(shù):202次

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產(chǎn)品簡介

外觀乳白色或微藍(lán)色透明溶液。

詳細(xì)介紹

  硅片拋光液:適用于半導(dǎo)體材料如硅片的表面粗/中拋光,其特點(diǎn)是在具有較高拋光去除速率(0.9μm/min)的同時(shí)可多次循環(huán)使用,循環(huán)使用過程中拋光去除速率及拋光后表面質(zhì)量穩(wěn)定,有效降低拋光液使用成本。拋光后晶片表面的微粗糙度在 0.2nm以下,已經(jīng)在國內(nèi)拋光片生產(chǎn)線上使用,符合生產(chǎn)應(yīng)用要求,可替代現(xiàn)有國外同類進(jìn)口產(chǎn)品。

  外觀乳白色或微藍(lán)色透明溶液。

  技術(shù)指標(biāo)

  含量(以SiO2%計(jì)) ——15%-25%

  pH值 ——————— 10.8-11.8

  比重(20℃) ————— 1.10-1.20

  粒徑—————————10nm-25nm

  粘度(20°C)————小于25c.p


    本公司由專業(yè)的實(shí)驗(yàn)室研發(fā)各種材料的拋光液,可以根據(jù)不同材質(zhì)配置拋光液。歡迎:

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