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無塵烤箱，精密潔凈烘箱

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上海雋思實(shí)驗(yàn)儀器有限公司

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產(chǎn)品簡介

無塵烤箱，精密潔凈烘箱用途: 無塵烤箱，精密潔凈烘箱用于半導(dǎo)體制造中硅片、砷化鎵、鈮酸鋰、玻璃等材料涂膠前的預(yù)處理烘烤、涂膠后堅(jiān)膜烘烤和顯影后的高溫烘烤；也適用于電子液晶顯示、LCD、CMOS、IS、醫(yī)藥、實(shí)驗(yàn)室等生產(chǎn)及科研部門；也可用于非揮發(fā)性及非易燃易爆物品的干燥、熱處理、老化等其他高溫試驗(yàn)

詳細(xì)介紹

無塵烤箱，精密潔凈烘箱用途:

無塵烤箱，精密潔凈烘箱用于半導(dǎo)體制造中硅片、砷化鎵、鈮酸鋰、玻璃等材料涂膠前的預(yù)處理烘烤、涂膠后堅(jiān)膜烘烤和顯影后的高溫烘烤；也適用于電子液晶顯示、LCD、CMOS、IS、醫(yī)藥、實(shí)驗(yàn)室等生產(chǎn)及科研部門；也可用于非揮發(fā)性及非易燃易爆物品的干燥、熱處理、老化等其他高溫試驗(yàn)。

無塵烤箱，精密潔凈烘箱特點(diǎn)：
1.在普通環(huán)境下使用，能夠確保烘箱內(nèi)部等級達(dá)到Class 100；
2.全周氬焊，耐高溫硅膠破緊，SUS304#不銹鋼電熱生產(chǎn)器，防機(jī)臺本身所產(chǎn)生微塵；
3.采平面水平由后向前送風(fēng)熱風(fēng)循環(huán)系統(tǒng)，風(fēng)源由循環(huán)馬達(dá)運(yùn)轉(zhuǎn)帶動風(fēng)輪經(jīng)電熱器，將熱風(fēng)由風(fēng)道送至烤箱內(nèi)部，且將使用后空氣吸入風(fēng)道成為風(fēng)源再度循環(huán)加熱，省電節(jié)能溫度均勻性好，過濾效率99.99%，Class 100；

4.強(qiáng)制送風(fēng)循環(huán)方式。雙風(fēng)道循環(huán)結(jié)構(gòu)，溫度場分布均勻，智能P.I.D溫控系統(tǒng)，得到高溫度控制精度。

無塵烤箱，精密潔凈烘箱技術(shù)參數(shù)：

無塵等級：Class 100;

溫度范圍：60～ +300℃；
溫度均勻度：200℃±2℃;

溫度波動度：±0.5℃（空載）
溫控精度：±0.1℃;

工作尺寸：600×600×500（可定做）
電源：380v , 50Hz，10KW

網(wǎng)板：2塊（高度可調(diào)節(jié))

潔凈度100級的潔凈熱處理，HEPA過濾器與前出風(fēng)型水平層流循環(huán)方式實(shí)現(xiàn)并保證箱內(nèi)的溫度分布的均勻
性與100級潔凈度。最小限度控制風(fēng)速距離。

關(guān)鍵詞：潔凈烘箱

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