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上海雋思實(shí)驗(yàn)儀器有限公司


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HMDS烘箱的價(jià)格，HMDS預(yù)處理系統(tǒng)的性能

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具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)

產(chǎn)品型號(hào)JS-HMDS

品       牌

廠商性質(zhì)其他

所  在  地上海

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更新時(shí)間：2024-05-04 17:59:41瀏覽次數(shù)：121次

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產(chǎn)品簡(jiǎn)介

HMDS預(yù)處理系統(tǒng)通過對(duì)烘箱預(yù)處理過程的工作溫度、處理時(shí)間、處理時(shí)保持時(shí)間等參數(shù)可以在硅片、基片表面均勻涂布一層HMDS，降低了HMDS處理后的硅片接觸角，降低了光刻膠的用量，提高光刻膠與硅片的黏附性。

詳細(xì)介紹

HMDS真空烘箱技術(shù)參數(shù)：

電源電壓：AC 220V±10%/50Hz±2%

輸入功率：2400W

控溫范圍：RT+10℃-250℃

溫度分辨率：0.1℃

溫度波動(dòng)度：±0.5℃

達(dá)到真空度：133Pa

容積：90L

工作室尺寸（mm）：450*450*450

載物托架：2塊

時(shí)間單位：min

二、HMDS真空烘箱特點(diǎn)：

1、 采用科研級(jí)不銹鋼316L材質(zhì)制造，內(nèi)膽為不銹鋼316L；加熱器均勻分布在內(nèi)膽 

    外壁四周，內(nèi)膽內(nèi)無任何電氣配件及易燃易爆裝置。鋼化、防彈雙層玻璃門觀 

    察工作室內(nèi)物體一目了然。

2、 箱門閉合松緊能調(diào)節(jié)，整體成型的硅橡膠門封圈，確保箱內(nèi)高真空度。

3、 微電腦智能控溫儀，具有設(shè)定，測(cè)定溫度雙數(shù)字顯示和PID自整定功能，控溫 

    精確，可靠。

4、 智能化觸摸屏控制系統(tǒng)配套進(jìn)口PLC模塊可供用戶根據(jù)不同制程條件改變程序， 

    溫度，真空度及每一程序時(shí)間。

5、 HMDS氣體密閉式自動(dòng)吸取添加設(shè)計(jì)，真空箱密封性能佳，確保HMDS氣體無外 

    漏顧慮。

6、 整個(gè)系統(tǒng)采用優(yōu)質(zhì)材料制造，無發(fā)塵材料，適用100 級(jí)光刻間凈化環(huán)境。

關(guān)鍵詞：真空烘箱 加熱器

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