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更新時(shí)間：2025-01-11 10:10:13瀏覽次數(shù)：62次
聯(lián)系我時(shí)，請(qǐng)告知來自 環(huán)保在線SEM-N系列聚酰亞胺固化
SEM-N系列聚酰亞胺固化烤箱是一種清潔工藝烘箱，專為聚酰亞胺硬烘烤和固化應(yīng)用而設(shè)計(jì)。
許多半導(dǎo)體制造環(huán)境的前端機(jī)器適用于聚酰亞胺固化。
這種昂貴的工藝導(dǎo)致設(shè)備在清潔度，惰性氣氛能力，循環(huán)時(shí)間或數(shù)據(jù)采集方面通常不適合聚酰亞胺固化。
SEM-N系列烤箱優(yōu)化了半導(dǎo)體的聚酰亞胺固化工藝
晶圓器件。它可以縮短周期時(shí)間，并為產(chǎn)品負(fù)載中的所有晶圓提供一致，可重復(fù)的固化過程。我們?yōu)镾EM-N系列烤箱設(shè)計(jì)了一個(gè)壓力釋放系統(tǒng)，該系統(tǒng)包括一個(gè)可拆卸的“冷阱"，一個(gè)易于清潔的冷凝水收集器，有助于防止聚酰胺在爐內(nèi)排氣中積聚。
u 再循環(huán)空氣100％通過99.99％HEPA過濾器過濾，用于ISO 5級(jí)（100級(jí)）或高的操作
u 集成的PC 接口，具有實(shí)時(shí)圖形顯示功能
u 氧氣監(jiān)控系統(tǒng)
u 16千瓦加熱器容量
u 自動(dòng)水控制，帶不銹鋼水冷盤管
u 溫度可達(dá)（450°C）
u 快速循環(huán)時(shí)間，每分鐘5°C
u 溫度均勻性為±1％
u 每層23千克
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