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上海衡鵬企業(yè)發(fā)展有限公司


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4軸機械臂小徑晶圓用4軸圓柱坐標潔凈機械手臂

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參  考  價面議
具體成交價以合同協(xié)議為準

產(chǎn)品型號

品       牌

廠商性質(zhì)其他

所  在  地上海

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更新時間：2024-06-12 08:13:01瀏覽次數(shù)：63次

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經(jīng)營模式：其他

商鋪產(chǎn)品：635條

所在地區(qū)：

產(chǎn)品簡介

小徑晶圓用4軸圓柱坐標潔凈機械手臂特點：適用于超級潔凈間要求的3軸圓柱坐標潔凈機械手臂SCR3100S系列適用于半導體生產(chǎn)設備內(nèi)部

詳細介紹

小徑晶圓用4軸圓柱坐標潔凈機械手臂特點： 

適用于超級潔凈間要求的3軸圓柱坐標潔凈機械手臂SCR3100S系列

適用于半導體生產(chǎn)設備內(nèi)部，檢測設備等小尺寸晶圓的搬運，通過優(yōu)化機械手臂的空間尺寸，

有利于實現(xiàn)設備的小型化

提高潔凈度的方法：手臂內(nèi)部排氣口安裝0.1µm級過濾器

適應設備需求可以選擇底座固定方式，或者法蘭固定方式

配備動作監(jiān)視器

控制通訊方式：RS232C及并口I/O方式

全軸采用2相步進電機

S曲線加減速控制方式能夠高速，高精度地搬運半導體晶圓

晶圓固定方式: 真空吸附式，下托式，邊緣夾持式

手指材質(zhì)：CFRP(碳纖維),鋁合金，高純度陶瓷等多種可選材質(zhì)

可以針對搬運物體，客戶設備布局的實際情況提供的手指


小徑晶圓用4軸圓柱坐標潔凈機械手臂基本參數(shù)：

使用環(huán)境

潔凈間內(nèi)的大氣環(huán)境

手臂

單臂

到達距離

195mm (手臂第3關節(jié)中心到達距離)

升降軸行程

200mm / 300mm

可搬運質(zhì)量

0.5kg (手臂第3關節(jié)處基準)




如需詳細產(chǎn)品參數(shù) 請聯(lián)系我們


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