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格林斯達(dá)（北京）環(huán)保科技股份有限公司
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更新時(shí)間：2023-06-01 14:05:28瀏覽次數(shù)：206次
聯(lián)系我時(shí)，請(qǐng)告知來(lái)自 環(huán)保在線設(shè)計(jì)風(fēng)量： 1000CMH-60000CMH 處理效率： ＞95% 工作原理： 化學(xué)吸附 處理氣體類型： ASH3、PH3、BF3 吸附劑填裝量： 1-20噸 更新時(shí)間： 2021-08-02 14:06:07
利用化學(xué)反應(yīng)、復(fù)分解反應(yīng)等基本原理，與各種廢氣產(chǎn)生化學(xué)反應(yīng)，生成穩(wěn)定的無(wú)毒無(wú)害的化合物或者復(fù)合物，可直接用于修路、垃圾填埋等，不會(huì)產(chǎn)生二次污染。
半導(dǎo)體行業(yè)的含砷廢氣從機(jī)臺(tái)端單獨(dú)收集，形成獨(dú)立的系統(tǒng)，砷烷磷烷的處理系統(tǒng)主要分為兩個(gè)部分，d一階段為L(zhǎng)ocal Scrubber，即本地的干式吸附裝置，采用的原理也是化學(xué)吸附，目前隨著國(guó)j及各地區(qū)環(huán)保排放標(biāo)準(zhǔn)日驅(qū)嚴(yán)格，在含砷系統(tǒng)的Local Scrubber的基礎(chǔ)上匯集到屋面時(shí)會(huì)在Central端再次進(jìn)行干式吸附，使用的設(shè)備稱為砷磷烷吸附塔，一般砷磷烷吸附塔也會(huì)配置一用一備模式，吸附后通過末端風(fēng)機(jī)負(fù)壓達(dá)標(biāo)排放。
砷磷烷也可以稱含砷廢氣吸附裝置，一般也可分為立式和臥式兩種結(jié)構(gòu)，如上述內(nèi)部結(jié)構(gòu)圖，立式吸附塔側(cè)進(jìn)上出，臥式吸附塔側(cè)進(jìn)側(cè)出，分為初效吸附劑和主反應(yīng)藥劑兩個(gè)部分，砷磷烷的關(guān)鍵點(diǎn)就在于吸附劑的選擇和使用。
廢氣風(fēng)量
進(jìn)氣中成分及各成分占比
進(jìn)氣種含砷烷、磷烷及其他特氣的濃度
進(jìn)氣溫度、濕度情況
運(yùn)行要求，24h連續(xù)運(yùn)行或間歇運(yùn)行
安裝位置環(huán)境
在砷磷烷吸附塔進(jìn)行報(bào)價(jià)的過程中，要先要根據(jù)現(xiàn)場(chǎng)實(shí)際需求進(jìn)行選型設(shè)計(jì)，選型主要是參照上述描述的設(shè)計(jì)條件，z終根據(jù)現(xiàn)場(chǎng)空間設(shè)計(jì)出砷磷烷吸附塔的圖紙及吸附劑用量，核算出合理的市場(chǎng)價(jià)格。
格林斯達(dá)專注環(huán)保領(lǐng)域19年，作為中芯國(guó)際SMIC認(rèn)證的合格供應(yīng)商，新三板上市企業(yè)，可提供完整的含砷廢氣、含磷廢氣等特殊氣體治理工藝及設(shè)備設(shè)計(jì)，保z廢氣達(dá)標(biāo)排放，歡迎隨時(shí)咨詢訂購(gòu)。
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