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HPG400高壓強熱電離皮拉尼真空計

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更新時間：2023-09-22 11:40:43瀏覽次數(shù)：133次

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上海唯科電氣有限公司

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產(chǎn)品簡介

INFICON公司生產(chǎn)的HPG400型高壓強熱電離皮拉尼真空計將高壓強熱電離與皮拉尼規(guī)管綜合在一個小型、輕便與經(jīng)濟的規(guī)管中，測量壓強從210-6**1000毫巴(1.510-6**750乇)。HPG400提供**的重復(fù)性和再現(xiàn)性壓強測量，用于**的濺射過程的壓強控制。

詳細(xì)介紹

INFICON公司生產(chǎn)的HPG400型高壓強熱電離皮拉尼真空計將高壓強熱電離與皮拉尼規(guī)管綜合在一個小型、輕便與經(jīng)濟的規(guī)管中，測量壓強從2×10-6**1000毫巴(1.5×10-6**750乇)。HPG400提供**的重復(fù)性和再現(xiàn)性壓強測量，用于**的濺射過程的壓強控制。

用戶**性
◆ HPG400節(jié)省成本和設(shè)備空間，降低真空測量的安裝與設(shè)置的復(fù)雜性
◆ 高壓強熱電離真空計1×10-5毫巴為要求高的過車工控制提供**、**的壓強測量
◆ 用戶可選的熱電離發(fā)射在5×10-2**1毫巴之間起始工作
◆ 皮拉尼聯(lián)鎖保護(hù)熱陰極防止它過早燒毀
◆ 高真空皮拉尼自動調(diào)整，減少操作人員的干預(yù)
◆ 備有可選的圖形顯示器和現(xiàn)場總線接口

典型應(yīng)用
◆ 半導(dǎo)體制作中濺射工藝應(yīng)用，電子學(xué)的媒體工業(yè)
◆ 工業(yè)鍍膜
◆ 在低****高真空范圍中系統(tǒng)的一般真空測量和控制

訂購資料

型號	HPG400 Without LCD display	HPG400 With LCD display	HPG400-SP With Profibus DP1）	HPG400-SD With DeviceNet1）
DN 25ISO-KF	353-520	353-521	353-525	353-527
DN 40CF-R	353-522	353-523	353-526	353-528
**換傳感器25ISO-KF	354-487	354-487	354-487	354-487
**換傳感器40CF-R	354-488	354-488	354-488	354-488