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更新時(shí)間：2023-10-23 11:26:49瀏覽次數(shù)：177次
聯(lián)系我時(shí)，請(qǐng)告知來自 環(huán)保在線真空室中，利用氣體放電或被蒸發(fā)物質(zhì)部分離化，在氣體離子或被蒸發(fā)物質(zhì)粒子轟擊作用的同時(shí)，將蒸發(fā)物或反應(yīng)物沉積在基片上，明顯改進(jìn)了膜質(zhì)量，而且還擴(kuò)大了薄膜的應(yīng)用范圍，薄膜附著力強(qiáng)，繞射性好，膜材廣泛。
大型板材管材真空鍍膜機(jī)工作原理是離子鍍?cè)谡婵帐抑?，利用氣體放電或被蒸發(fā)物質(zhì)部分離化，在氣體離子或被蒸發(fā)物質(zhì)粒子轟擊作用的同時(shí)，將蒸發(fā)物或反應(yīng)物沉積在基片上。離子鍍把輝光放電現(xiàn)象、等離子體技術(shù)和真空蒸發(fā)三者有機(jī)結(jié)合起來，不僅能明顯地改進(jìn)了膜質(zhì)量，而且還擴(kuò)大了薄膜的應(yīng)用范圍。其優(yōu)點(diǎn)是薄膜附著力強(qiáng)，繞射性好，膜材廣泛等。多弧離子鍍與一般的離子鍍有著很大的區(qū)別。多弧離子鍍采用的是弧光放電，而并不是傳統(tǒng)離子鍍的輝光放電進(jìn)行沉積。簡(jiǎn)單的說，多弧離子鍍的原理就是把陰極靶作為蒸發(fā)源，通過靶與陽(yáng)極殼體之間的弧光放電，使靶材蒸發(fā)，從而在空間中形成等離子體，對(duì)基體進(jìn)行沉積。
應(yīng)用范圍：可以鍍制不銹鋼、鉻、鈦、鎢等多種金屬膜，也可鍍制合金膜或化合物，如TiN/TiAlN/CrN膜等,臥式多弧離子鍍膜機(jī)主要針對(duì)大面積五金工件鍍裝飾膜或者功能膜，適合于在不銹鋼板、不銹鋼管、不銹鋼門等工件表面鍍膜。
特點(diǎn)：
1.裝備低溫離子輔助源，無需加熱直接常溫冷鍍成膜，節(jié)能省電，提高產(chǎn)能。
2.此類設(shè)備真空室尺寸能實(shí)現(xiàn) φ5000X10000MM（長(zhǎng)）。
3.是在大型板材、管材上鍍制各類裝飾膜層及功能膜膜層的必選設(shè)備。
低溫離子輔助鍍膜源：
1、大面積離子放電，離化效應(yīng)高, 提高結(jié)合強(qiáng)度，附著力特強(qiáng)。
2、離子分布均勻,大大地改善膜層的穩(wěn)定性和均勻性。
3、離化效應(yīng)好,不需加溫直接鍍制膜層,去掉傳統(tǒng)的加熱裝置，節(jié)電30%以上，鍍膜時(shí)間節(jié)省10%以上， 提高工效，實(shí)現(xiàn)低溫鍍膜。
4、發(fā)揮離化效應(yīng)，無論是金屬鍍件、有色金屬制品還是非金屬鍍件直接鍍膜。
5、離化效應(yīng)好,無論是不銹鋼制品還是各類有色金屬制品(如銅、鋁、鋅、鎂等)不需水鍍直接鍍制膜層。
6、是在大型板材、管材上鍍制各類裝飾膜層及功能膜膜層的必選設(shè)備。
| 型號(hào) | HCCA-1800 | HCCA-2000 | HCCA-3000 | HCCA-2000 | HCCA-3000 | HCCA-4000 | HCCA-5000 |
| 真空室尺寸 | φ1800x2000 | φ2000x2000 | φ3000x3000 | φ2000x6000 | φ3000x6000 | φ4000x8000 | φ5000x10000 |
| 真空室機(jī)構(gòu) | 立式開門、吊裝或臥室推車結(jié)構(gòu)配置抽氣系統(tǒng)及水冷系統(tǒng) | ||||||
| 真空機(jī)組 | 機(jī)械泵＋羅茨泵＋擴(kuò)散泵/分子泵＋維持泵 | ||||||
| 真空測(cè)量系統(tǒng) | 一臺(tái)皮拉尼（MKS） 一臺(tái)冷陰極（MKS）一臺(tái)薄膜規(guī)（MKS） | ||||||
| 鍍膜系統(tǒng) | 電弧蒸發(fā)源、鍍膜輔助離子專用電源 | ||||||
| 充氣系統(tǒng) | 質(zhì)量流量計(jì) | 質(zhì)量流量計(jì) | 質(zhì)量流量計(jì) | 質(zhì)量流量計(jì) | 質(zhì)量流量計(jì) | 質(zhì)量流量計(jì) | 質(zhì)量流量計(jì) |
| 電源類型 | 直流電源、中頻電源、脈沖電源（偏壓電源、弧電源） | ||||||
| 控制方式 | 手動(dòng)或 全自動(dòng) | 手動(dòng)或 全自動(dòng) | 手動(dòng)或 全自動(dòng) | 手動(dòng)或 全自動(dòng) | 手動(dòng)或 全自動(dòng) | 手動(dòng)或 全自動(dòng) | 手動(dòng)或 全自動(dòng) |
| 極限真空指標(biāo) | 5.0x10-4Pa | 5.0x10-4Pa | 5.0x10-4Pa | 5.0x10-4Pa | 5.0x10-4Pa | 5.0x10-4Pa | 5.0x10-4Pa |
| 電弧源 | 22臺(tái)-28臺(tái) | 22臺(tái)-28臺(tái) | 26臺(tái)-32臺(tái) | 26臺(tái)-32臺(tái) | 32臺(tái)-48臺(tái) | 32臺(tái)-48臺(tái) | 32臺(tái)-48臺(tái) |
| 200A-300A | 200A-300A | 200A-300A | 200A-300A | 200A-300A | 200A-300A | 200A-300A | |
| 偏壓電源 | 60KW/臺(tái) | 60KW/臺(tái) | 70KW/臺(tái) | 70KW/臺(tái) | 80KW/臺(tái) | 80KW/臺(tái) | 100KW/臺(tái) |
| 磁控電源 | —— | —— | —— | —— | —— | —— | —— |
| 工作轉(zhuǎn)動(dòng)方式 | 多軸行星式公自轉(zhuǎn)、變頻調(diào)速（可控可調(diào)） | ||||||
| 工作烘烤溫度 | 常溫-至450℃可控可調(diào)（PID溫控） | ||||||
| 工藝氣體 | 3路或4路工藝氣體流量控制及顯示系統(tǒng)選配自動(dòng)加氣系統(tǒng) | ||||||
| 氬氣、氮?dú)?、氧氣、乙炔?/span> | |||||||
| 冷卻方式 | 水冷卻循環(huán)方式，另配工業(yè)冷卻水塔或工業(yè)冷水機(jī)（制冷機(jī)）或深冷系統(tǒng)。（客戶提供） | ||||||
| 控制方式 | PLC+觸摸屏操作或計(jì)算機(jī)控制，手動(dòng)、半自動(dòng)、自動(dòng)方式 | ||||||
| 供給指標(biāo) | 氣壓0.5-0.8MPa、水溫≤25℃、水壓≥0.2MPa | ||||||
| 報(bào)警及保護(hù) | 對(duì)泵和靶等缺水、過流過壓、斷路等異常情況進(jìn)行報(bào)警、并執(zhí)行相應(yīng)保護(hù)措施及電氣聯(lián)鎖功能 | ||||||
| 整體總功率 | 165-185KW | 185-200KW | 200-225KW | 225-245KW | 225-245KW | 265-300KW | 265-300KW |
| 輸出頻率 | 電壓380V±5%，頻率50HZ（可根據(jù)客戶國(guó)家用電標(biāo)準(zhǔn)配置） | ||||||
| 設(shè)備占地面積 | 25～55㎡ | 35～55㎡ | 35～55㎡ | 45～55㎡ | 45～55㎡ | 55～75㎡ | 55～75㎡ |
| 備注 | 以上設(shè)備參數(shù)僅做參考，具體均按客戶實(shí)際工藝要求設(shè)計(jì)定做 | ||||||
應(yīng)用范圍：可以鍍制不銹鋼、鉻、鈦、鎢等多種金屬膜，也可鍍制合金膜或化合物，如TiN/TiAlN/CrN膜等,臥式多弧離子鍍膜機(jī)主要針對(duì)大面積五金工件鍍裝飾膜或者功能膜，適合于在不銹鋼板、不銹鋼管、不銹鋼門等工件表面鍍膜。
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