臭氧電源系統包括電源控制系統、整流、變頻器、升壓變壓器，它的作用就是向臭氧放電室提供必要條件—高壓交變電場，而臭氧產生效率與高壓電源成正向增長關系，因此臭氧電源系統在整個臭氧發(fā)生系統中具有重要的作用。臭氧電源系統依據高壓放電頻率可分為工頻、中頻、高頻三類，其中頻率為 60/50Hz 的電源稱為工頻電源，頻率超過 1000Hz 的電源稱為高頻電源，介于工頻與高頻之間的稱為中頻。

1、工頻的工作原理：交流 380V 電壓經高壓變壓器后，變壓器輸出交流 10000V 電壓供給臭氧合成系統。
工頻需要漏感很大的高壓變壓器、效率低、耗電大、產生臭氧的產量與濃度低；一般采用玻璃管作放電介電體，用于生產中、大型臭氧發(fā)生器。

2、中頻
中頻的電路結構圖，此電源是根據介質和臭氧放電室而設計的與之相匹配的高壓電源，其中可控硅屬大功率器件，工作壓降低，過載特性好，輸出功率大，用于中頻大功率電源時的性能比較高，能很好地滿足臭氧發(fā)生器對電源的需要。

3、高頻的工作原理：工業(yè)配電經整流后，通過變頻工藝使電源頻率在 1000Hz 以上，變頻后再次通過整流使電源變?yōu)榻涣麟娫矗ù诉^程稱為逆變），zui后經高壓變壓器升壓供給臭氧合成系統。高頻具有效率高、耗電小、產生臭氧的產量與濃度高等特點，一般采用搪瓷或陶瓷片作放電介電體，用于生產小型臭氧發(fā)生器及家用消毒機。