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行業(yè)產(chǎn)品

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長沙沛鈺進出口貿易有限公司


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1200℃三溫區(qū)三通道混氣CVD系統(tǒng)

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具體成交價以合同協(xié)議為準

產(chǎn)品型號

品       牌

廠商性質經(jīng)銷商

所  在  地

聯(lián)系方式:許進朝查看聯(lián)系方式

更新時間:2024-09-28 10:29:10瀏覽次數(shù):61次

聯(lián)系我時,請告知來自 環(huán)保在線

經(jīng)營模式:經(jīng)銷商

商鋪產(chǎn)品:488條

所在地區(qū):湖南長沙市

聯(lián)系人:許進朝 (銷售經(jīng)理)

產(chǎn)品簡介

型號:OTF-1200X-80-III-F3LV產(chǎn)品概述:OTF-1200X-80-III-F3LV是一款CE認證的三溫區(qū)管式爐CVD系統(tǒng),其管徑為80mm,采用機械泵,它是由管式爐,三路浮子流量供氣系統(tǒng)組成,其真空度可達到10-2torr

詳細介紹

型號:OTF-1200X-80-III-F3LV

產(chǎn)品概述:OTF-1200X-80-III-F3LV是一款CE認證的三溫區(qū)管式爐CVD系統(tǒng),其管徑為80mm,采用機械泵,它是由管式爐,三路浮子流量供氣系統(tǒng)組成,其真空度可達到 10-2 torr。


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技術參數(shù)實驗案例警示/應用提示配件詳情
殼體結構

· 雙層殼體結構并帶有風冷

· 保溫材料采用高純氧化鋁多晶纖維,可以減少熱量的損失,環(huán)保節(jié)能

· 內爐膛表面涂有美國進口的1750度高溫氧化鋁涂層可以提高設備的加熱效率,同時也可以延長儀器的使用壽命

可開啟式,更換爐管方便


功率

5 KW


電壓

AC 208-240V單相, 50/60 Hz


加熱元件

Fe-Cr-Al Alloy doped by Mo


工作溫度

1200℃


連續(xù)工作溫度

1100℃


加熱速率

 ≤20  ℃/min


石英管& 密封法蘭

· 80 mm O.D x 72 mm ID. x 1219 mm包含在儀器內

· 儀器上已經(jīng)安裝有不銹鋼真空密封法蘭,壓力表和閥門(點擊下面的圖片查看詳細的信息)

· blob.png


加熱區(qū)長度

· 三個溫區(qū)長度: (880mm, 35" in total)

· 溫區(qū) 1: 220mm  (8.6" )

· 溫區(qū) 2: 440mm  (17.3")

溫區(qū) 3: 220 mm (8.6") 注:由于測量手段及外部環(huán)境的影響,測量結果可能會有偏差,此參數(shù)僅供參考不作為該設備的技術指標。您購買產(chǎn)品需要準確的恒溫區(qū)數(shù)據(jù),請與我公司銷售人員聯(lián)系


溫控系統(tǒng)


· 三個精密溫度控制器,可獨立控溫

· PID控制方式,通過PWM固體繼電器。

· 30段可編程智能溫度調節(jié)儀,并可設置30段升降溫程序.

· 帶有過熱和斷偶保護功能

控溫儀表操作視頻


控溫精度

+/- 1℃


真空密封系統(tǒng)

· 兩個不銹鋼密封法蘭(上面已安裝真空計和截止閥).

· 通過機械泵真空度可以達到 5.5 m-torr. ( 5.5x10-3 torr).如果使用機械泵和分子泵,真空度可以達到10-4 torr.

· 漏氣率 < 5 m-torr / min

· blob.png


真空泵

采用雙旋機械泵,機械泵上安裝有進口的油污過濾器,可以過濾真空泵工作時產(chǎn)生的油煙,減少泵油的損耗,保護環(huán)境和人體健康,過濾的最小微粒直徑為0.3微米
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數(shù)字式真空顯示計

可選:本公司進口的防腐型數(shù)字式真空顯示計,其測量范圍為3.8x10-5  1125 Torr. 不需因測量氣體種類不同而需要系數(shù)轉換
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氣體流量計和壓力表

· 三個浮子流量計,能夠檢測到氣體的流

· 三路浮子量程分別為

· 10-100 cc/min.

· 16-160 cc/min.

· 25-250 cc/min

· 內部安裝有一混氣罐

有一壓力表安裝在浮子流量供氣系統(tǒng)側面上,可以檢測氣體壓力及混合槽的壓力


閥門

四個不銹鋼閥門安裝在浮子流量供氣系統(tǒng)側面上,用于控制氣體的流量


外形尺寸

· 爐子: 1100 X 450 x 670mm

底部移動架: 600x600x597mm


開門斷電

為保證使用安全,該電爐為開門斷電設計
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凈重

 90 Kg


運輸重量

  245 lbs


質保期

一年質保期,相關耗材除外,如爐管,密封圈,等易耗件


質量認證

blob.png CE certified


使用注意事項

· 爐管內氣壓不可高于0.02MPa

· 由于氣瓶內部氣壓較高,所以向爐管內通入氣體時,氣瓶上必須安裝減壓閥,建議在本公司選購減壓閥,本公司減壓閥量程為0.01MPa-0.1MPa,使用時會更加精確安全

· 當爐體溫度高于1000℃時,爐管內不可處于真空狀態(tài),爐管內的氣壓需和大氣壓相當,保持在常壓狀態(tài)

· 進入爐管的氣體流量需小于200SCCM,以避免冷的大氣流對加熱石英管的沖擊

· 石英管的長時間使用溫度<1100℃

對于樣品加熱的實驗,不建議關閉爐管法蘭端的抽氣閥和進氣閥使用。若需要關閉氣閥對樣品加熱,則需時刻關注壓力表的示數(shù),若氣壓表示數(shù)大于0.02MPa,必須立刻打開泄氣閥,以防意外發(fā)生(如爐管破裂,法蘭飛出等)



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