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1700℃三溫區(qū)三通道混氣CVD系統(tǒng)

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更新時間：2024-09-28 10:30:16瀏覽次數(shù)：61次

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長沙沛鈺進出口貿(mào)易有限公司

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產(chǎn)品簡介

型號：GSL-1700X-III-F3LV產(chǎn)品概述：GSL-1700X-III-F3LV是一款通過CE認(rèn)證的三溫區(qū)管式爐CVD系統(tǒng)，其爐管直徑為60mm,其真空泵采用雙旋機械泵，混氣系統(tǒng)為3路浮子混氣系統(tǒng)

詳細(xì)介紹

型號：GSL-1700X-III-F3LV

產(chǎn)品概述：GSL-1700X-III-F3LV是一款通過CE認(rèn)證的三溫區(qū)管式爐CVD系統(tǒng)，其爐管直徑為60mm,其真空泵采用雙旋機械泵，混氣系統(tǒng)為3路浮子混氣系統(tǒng)。此高溫爐燒結(jié)溫度可達1700℃，真空度可達到5x10-2 torr ，可以混合1-3種氣體。

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技術(shù)參數(shù)實驗案例警示/應(yīng)用提示配件詳情

爐體結(jié)構(gòu)	· 爐膛材料采用高純氧化鋁纖維，減少能量損失 · 內(nèi)爐膛表面涂有美國進口的高溫氧化鋁涂層可以提高設(shè)備的加熱效率，同時也可以延長儀器的使用壽命三個溫區(qū)分別被三個獨立的溫控系統(tǒng)控制
功率	9 KW(需要75A的空氣開關(guān) )
電壓	AC 208-240V 單相, 50/60 Hz
加熱區(qū)	· 總加熱區(qū)長度: 25" (630 mm) · 加熱溫區(qū)1長度: 7.5" (190 mm) 1400°C 通過4根硅碳棒加熱，溫度可達1400℃ · 升溫速率: 10°C/min · 加熱溫區(qū)2長度:: 10" (250 mm)1700°C 通6根硅鉬棒加熱，溫度可達1700℃ · 升溫速率: 5°C/min · 加熱溫區(qū)3長度:: 7.5" (190 mm) 1400°C 通過4根硅碳棒加熱，溫度可達1400℃ 升溫速率: 10°C/min
爐管和法蘭尺寸	· 99.8%高純剛玉管 purity Alumina Tube · （標(biāo)配尺寸） ( 60mm) O.D.x I.D. (50mm) x 1200mm)L · （選配尺寸） ( 80mm) O.D.x I.D. (70mm) x 1200mm L · 一對60mm的不銹鋼密封法蘭，法蘭上已安裝閥門和儀表儀器中包括4個氧化鋁管堵
溫控系統(tǒng)	· 3個溫控系統(tǒng)，都是PID30段程序化控溫控溫儀表操作視頻
控溫精確度	+/-1°C
低真空系統(tǒng)	· 采用雙旋機械泵，其針對于本公司的管式爐，真空度可達到 10-2 Torr. 一個KF25的不銹鋼波紋管已安裝在真空系統(tǒng)上，其尺寸為 25mm Dia x 1000mm length ，可于管式爐上的法蘭相連接
防腐型數(shù)字真空計	· 可選：本公司進口的防腐型數(shù)字式真空顯示計，其測量范圍為3.8x10-5 至 1125 Torr. 不需因測量氣體種類不同而需要系數(shù)轉(zhuǎn)換。（點擊圖片查看詳細(xì)介紹） ·
三路浮子混氣系統(tǒng)	· 3個浮子流量計安裝在一個移動架上，可以推動，可同時混入三種不同氣體。 · 路氣體流量范圍為10-100 cc/min. · 第二路氣體流量范圍為16-160 cc/min. · 第三路氣體流量范圍為25-250 cc/min. · 一個壓力表安裝在移動加上，壓力表直接于移動架內(nèi)的混氣箱相連接移動架上安裝有4個不銹鋼針閥
尺寸	高溫爐: 863 L x 457 W x 711 H mm (34 L x 18 W x 28 H inch)
質(zhì)保期& 質(zhì)量認(rèn)證	· 一年質(zhì)保期. (不包括爐管加熱元件和密封圈 .) CE certified