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1200℃等離子增強HPCVD回轉(zhuǎn)爐系統(tǒng)

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更新時間：2024-09-28 10:52:54瀏覽次數(shù)：84次

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長沙沛鈺進出口貿(mào)易有限公司

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產(chǎn)品簡介

型號：OTF-1200X-S-II-4CV-PE產(chǎn)品概述：OTF-1200X-S-II-4CV-PE是一款1200℃等離子增強混合物理化學(xué)氣相沉積（HPCVD)雙溫區(qū)回轉(zhuǎn)爐系統(tǒng)

詳細介紹

型號：OTF-1200X-S-II-4CV-PE

產(chǎn)品概述：OTF-1200X-S-II-4CV-PE是一款1200℃等離子增強混合物理化學(xué)氣相沉積（HPCVD)雙溫區(qū)回轉(zhuǎn)爐系統(tǒng)。此系統(tǒng)由射頻電源（帶自動匹配功能）、上游蒸發(fā)舟、4通道質(zhì)子流量計控制系統(tǒng)及性能優(yōu)異的真空泵組成。此套完整的設(shè)備可用于無機復(fù)合粉末的熱處理及粉末表面的均勻包覆（如：制備鋰離子電池陰極粉末的導(dǎo)電涂層等）。

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技術(shù)參數(shù)實驗案例警示/應(yīng)用提示配件詳情

設(shè)備名稱

1200℃等離子增強HPCVD回轉(zhuǎn)爐系統(tǒng)—OTF-1200X-S-II-4CV-PE （2019.12.23—科晶實驗室審核）

產(chǎn)品提示

1、多種配件可選提示 2、特殊設(shè)備尺寸設(shè)備 3、科晶實驗室邀請?zhí)崾?/span> 4、配件妥善保管提示

產(chǎn)品特點

? 爐體可在0 ~ 30°內(nèi)傾斜有利于粉末樣品的裝入和取出；

? 射頻電源可實現(xiàn)等離子增強從而顯著降低實驗溫度；

? 齒輪驅(qū)動管式爐旋轉(zhuǎn)可有效地提高復(fù)合粉末熱處理的均勻性；

? 4通道質(zhì)子流量計控制系統(tǒng)可以對氣體的輸送進行精確的調(diào)控；

? 集成在前端的帶鎢絲加熱的坩堝舟可以對前驅(qū)體進行蒸發(fā)用于后續(xù)的混合物理化學(xué)氣相沉積階段。

相關(guān)視頻

QQ截圖20200629135906.jpg

操作視頻

加熱爐參數(shù)

? 溫度：1100oC（<30min）；連續(xù)工作溫度：< 1000℃；

? 兩個PID溫度控制器以及30段可編程溫控系統(tǒng)，控溫精度：±1℃；

? 輸入功率：110V，單相，功率：1.5KW；

? 回轉(zhuǎn)爐旋轉(zhuǎn)速度：0-5 rpm；

? 爐體開啟式設(shè)計，以達到對樣品快速降溫，方便更換爐管。

圖片1.jpg

蒸發(fā)舟參數(shù)

? 0.7mL氧化鋁坩堝（由鎢絲加熱圈包圍）；

? S型熱電偶插入坩堝中實現(xiàn)對蒸發(fā)物料的精確測溫；

? 溫度可達1100℃，長期使用溫度1000℃。

蒸發(fā)舟照片.jpg 蒸發(fā)舟照片2.jpg

射頻電源

? 科晶公司現(xiàn)有不同功率的射頻電源可供選擇，以滿足不同實驗條件的需求。

	300W射頻電源	500W射頻電源	100W射頻電源
輸出功率	0-300W可調(diào) （穩(wěn)定性：±1%）	0-500W可調(diào) （穩(wěn)定性：±1%）	0-100W可調(diào) （穩(wěn)定性：±1%）
射頻頻率	13.56 MHz （穩(wěn)定性：±0.5%）	13.56 MHz （穩(wěn)定性：±0.5%）	13.56 MHz （穩(wěn)定性：±0.5%）
匹配	自動匹配	自動匹配	手動匹配
噪音	＜50dB	＜50dB	＜50dB
冷卻方式	風(fēng)冷	風(fēng)冷	風(fēng)冷
輸入電壓	AC180-250V	AC108-250V	AC110-240V
圖片