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長春市博盛量子科技產品貿易有限公司
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產品型號：ATLEX-LR品牌名稱：德國ATLLasertechnikATLEX-LR系列適合低負荷使用，專門為激光剝蝕(LaserAblation)而設計；激光為193nm輸出優(yōu)化，同時具有非?？斓纳仙睾透叻逯倒β?/p>
產品型號：ATLEX-LR
品牌名稱：德國ATL Lasertechnik
ATLEX-LR 系列適合低負荷使用，專門為激光剝蝕(Laser Ablation) 而設計；激光為193nm 輸出優(yōu)化，同時具有非?？斓纳仙睾透叻逯倒β?。
產品特點：
· 軟電暈預電離
· 全固態(tài)高壓脈沖發(fā)生器
· 激光頭容積 < 3L
· TMC（全金屬陶瓷）管路
· 集成真空泵和鹵素過濾器
· 全部風冷，主動熱管理
· RS-485、RS232、USB及光纖接口
· 可沖洗光具座
· 能量穩(wěn)定模式
· 符合歐洲CE標準
· 符合RoHS規(guī)范
產品參數：
| ATLEX-LR產品參數 | ||
| 氣體介質 | ArF | 單位 |
| 波長 | 193 | nm |
| 脈沖能量1 | 12 | mJ |
| 能量穩(wěn)定選項輸出 | 10 | mJ |
| 脈沖寬度2 | 5 | ns |
| 光束尺寸2(V x H) | 4 x 6 | mm |
| 光束發(fā)散角2(V x H) | 1 x 2 | mrad |
| 能量穩(wěn)定性（標準偏差） | < 2 | % |
| 尺寸（長x寬x高） | 540 x 470 x 370 | mm |
| 重量 | 60 | kg |
| 冷卻 | Air | |
| 電力需求 | 230 VAC / 6,3 A / 1 phase / 50-60 Hz | |
所有規(guī)格均為典型數據，如有因產品改進而更改的，恕不另行通知。
1 在重復頻率情況下測得： 應用能量穩(wěn)定模式將會有10%的輸出能量損失。
2 典型值，FWHM
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