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上海百樞光電科技有限公司


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多功能離子減薄儀

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更新時間：2023-11-03 11:53:32瀏覽次數(shù)：184次

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產品簡介

Leica EM RES102 通過離子槍激發(fā)獲得離子束，以一定入射角度對樣品進行轟擊，以去除樣品表面原子，從而實現(xiàn)對樣品的離子束加工。Leica EM RES102主要功能為：對無機薄片樣品進行離子減薄，使得薄片樣品可被透射電子穿過，從而適宜TEM透射電子顯微鏡觀察；對無機塊狀樣品進行離子束拋光、離子束刻蝕，樣品表面離子清洗及斜坡切割，便于SEM掃描電子顯微鏡觀察樣品內部結構信息。

詳細介紹

  • 主要技術參數(shù)：

    •  具有2把離子槍，離子束能量為0.8keV-10keV，相對位置，可分別±45°傾斜，樣品臺傾斜角度-120°至 210°，離子束加工角度0°至90°，樣品
    平面擺動角度<360°，垂直擺動距離±5mm。實際操作參數(shù)根據(jù)具體應用需要選擇（系統(tǒng)備有參考參數(shù)，也可自行設置參數(shù)并存儲）
    •  可選配樣品臺：TEM樣品臺（Ø3.0mm或Ø2.3mm），F(xiàn)IB樣品清洗臺，SEM樣品臺，斜坡切割樣品臺（對樣品35°或90°斜坡切割）等
    •  SEM樣品臺可容納樣品尺寸：直徑25mm，高度12mm
    •  全無油真空系統(tǒng)，樣品室?guī)в蓄A抽室，保證樣品交換時間<1分鐘
    •  全電腦控制，觸摸屏操作界面，內置視頻觀察系統(tǒng)，可實時觀察樣品處理過程




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