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真空紫外光譜儀

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產(chǎn)品型號TGS 300

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更新時間：2024-02-11 07:46:35瀏覽次數(shù)：425次

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HORIBA科學(xué)儀器事業(yè)部

經(jīng)營模式：生產(chǎn)廠家

商鋪產(chǎn)品：96條

所在地區(qū)：上海上海市

聯(lián)系人：王先生（經(jīng)理）

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產(chǎn)品簡介

TGS 300真空紫外光譜儀產(chǎn)品簡介
TGS300超環(huán)面光柵攝譜儀專為研究分析真空紫外光譜而開發(fā)設(shè)計。TGS300可在像面形成二維平場，配合陣列探測器實現(xiàn)真空紫外光譜范圍內(nèi)的一次性全譜采集。安裝XY平臺上的標(biāo)準(zhǔn)DN100CF法蘭接口，可以方便地調(diào)整和優(yōu)化陣列探測器的中心波長和聚焦特性。

詳細(xì)介紹

產(chǎn)品簡介

TGS300超環(huán)面光柵攝譜儀專為研究分析真空紫外光譜而開發(fā)設(shè)計。TGS300可在像面形成二維平場，配合陣列探測器實現(xiàn)真空紫外光譜范圍內(nèi)的一次性全譜采集。安裝XY平臺上的標(biāo)準(zhǔn)DN100CF法蘭接口，可以方便地調(diào)整和優(yōu)化陣列探測器的中心波長和聚焦特性。

技術(shù)特點
    單片式光學(xué)結(jié)構(gòu)確保光通量zui大化，高光學(xué)穩(wěn)定性。
    HJY的超環(huán)面光柵技術(shù)，全光譜范圍內(nèi)優(yōu)異的消像差能力。
    超長的40mm光譜長度，橫向滑動CCD測量更寬的光譜，縱向滑動CCD優(yōu)化成像質(zhì)量。
    光譜覆蓋zui低至10nm，10-30nm具有超高分辨率。
    支持超高真空度10^-9mbar，可接入同步輻射裝置。

典型應(yīng)用
   紫外和紫外等離子體光譜分析
   紫外光源表征
   激光高次諧波研究
   EUV光源表征

技術(shù)指標(biāo)

三塊標(biāo)準(zhǔn)光柵可選
2105 gr/mm	光譜范圍: 9.5 – 32 nm 中心波長: 12nm
450 gr/mm	光譜范圍: 10 – 110 nm 中心波長: 15nm
290 gr/mm	光譜范圍: 15.5 – 170 nm 中心波長 : 35nm
光學(xué)設(shè)計	HJY超環(huán)面消像差光柵
焦長	300 mm
孔徑	f/20
分辨率	低至0.04nm (*)
波長驅(qū)動	固定
高真空	10-6 mbar
真空泵法蘭	DN40 KF
Slits	嵌入式
陣列探測器法蘭	DN100CF
可選項：
狹縫	手控或自動
多光柵切換裝置	光柵滑塊可裝載3塊光柵，真空中靈活切換
超高真空	配合DN63CF真空泵法蘭可達10^-9 mbar超高真空
(*) 使用2105線/mm光柵和10μm狹縫在波長20nm處測量。