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行業(yè)產(chǎn)品

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成都漢普升科技有限公司


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成都廠家 surpass電磁耦合磁控濺射 可定制 鍍膜機(jī)

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參   考   價(jià): 1000000

訂  貨  量: ≥1 套

具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)

產(chǎn)品型號

品       牌其他品牌

廠商性質(zhì)生產(chǎn)商

所  在  地成都市

聯(lián)系方式:胡先生查看聯(lián)系方式

更新時(shí)間:2023-11-17 14:40:23瀏覽次數(shù):225次

聯(lián)系我時(shí),請告知來自 環(huán)保在線

經(jīng)營模式:生產(chǎn)廠家

商鋪產(chǎn)品:32條

所在地區(qū):四川成都市

聯(lián)系人:胡先生 (銷售)

產(chǎn)品簡介
產(chǎn)地 國產(chǎn)    

成都真空設(shè)備廠家 surpass電磁耦合磁控濺射 固體潤滑 防腐 超硬表面改性 可定制

詳細(xì)介紹

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●該設(shè)備為公司根據(jù)客戶工藝需求定制,與某研究所國家重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室聯(lián)合研制,先后獲得獎勵3項(xiàng),聯(lián)合申報(bào)國家2項(xiàng),用于固體潤滑、防腐和超硬表面改性等領(lǐng)域,服務(wù)于科研和國家重大項(xiàng)目需求,具有多功能、高穩(wěn)定的特點(diǎn),歡迎各位聯(lián)合研制。


●設(shè)備主要由真空腔體、真空系統(tǒng)、工件盤系統(tǒng)、烘烤系統(tǒng)、濺射系統(tǒng)、離子轟擊系統(tǒng)、充氣系統(tǒng)和在線測量系統(tǒng)組成,同時(shí)匹配空氣壓縮氣體氣源和水冷系統(tǒng),可根據(jù)客戶使用需求定制。

●真空腔體:φ900X1050,雙層水冷;(可根據(jù)實(shí)際需求定制)

●真空系統(tǒng):分子泵+低溫泵+羅茨泵+機(jī)械泵復(fù)合真空系統(tǒng);

●真空抽速:4000-7000L/S,進(jìn)口全量程復(fù)合真空計(jì),全金屬防爆真空規(guī);

●極限真空:6.7X10-5Pa;(根據(jù)客戶選擇主泵確定);

●磁控靶組件:4個(gè)矩形靶,4個(gè)圓柱靶,根據(jù)客戶實(shí)際需要匹配中頻、射頻、脈沖直流濺射電源;

●離子源:2套線性離子源,匹配專用電源;

●氣路:4路反應(yīng)氣體,進(jìn)口質(zhì)量流量計(jì),1路毛細(xì)保護(hù)氣路;

●烘烤溫度:400℃,不銹鋼鎧裝加熱器,可拆卸快裝結(jié)構(gòu);

●工件盤:導(dǎo)軌多工位行星工件盤2套(標(biāo)準(zhǔn)配置為12工位和24工位,可擴(kuò)展數(shù)百件工件共同沉積),工件盤裝夾移動小車一輛;

●控制系統(tǒng):西門子PLC+西門子人機(jī)界面+工業(yè)控制計(jì)算機(jī)。


●特別說明:該設(shè)備為公司與中科院某所合作研制,獲得國家科技進(jìn)步、國家科技發(fā)明獎、機(jī)械工業(yè)科技進(jìn)步一等獎和中科院重大設(shè)備專項(xiàng)等獎勵,公司提供一攬子技術(shù)解決方案,同時(shí)與合作伙伴共享知識產(chǎn)權(quán)。


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