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ZZS-1300光學(xué)真空鍍膜機(jī)

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成都天一國(guó)泰真空設(shè)備有限公司

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產(chǎn)品簡(jiǎn)介

設(shè)備型號(hào):ZZS-1300光學(xué)真空鍍膜機(jī)腔體尺寸:φ1300xH1500mm恢復(fù)真空:4x10-3Pa

詳細(xì)介紹

設(shè)備型號(hào):ZZS-1300光學(xué)真空鍍膜機(jī)
腔體尺寸:φ1300xH1500mm	恢復(fù)真空:4x10^-3Pa,小于12分鐘
工件盤:φ1250SR1000φ1200SR1100	加熱溫度:350°C
晶控:SQC310單探頭六探頭	所需電力:三相、380V、50HZ
電子槍:雙槍	設(shè)備進(jìn)水壓:0.2~0.4MPa
真空系統(tǒng):擴(kuò)散泵+雙級(jí)旋片泵+羅茨泵	所需氣壓:0.6~0.8MPa
極限真空:4x10^-4Pa	設(shè)備重量:5T
真空鍍膜設(shè)備的具體配置可根據(jù)客戶的鍍膜工藝要求進(jìn)行量身設(shè)計(jì)及制作