簡要描述：上海實驗室真空PECVD射頻模塊薄膜均勻沉積通過反應(yīng)氣態(tài)放電，有效地利用了非平衡等離子體的反應(yīng)特征，從根本上改變了反應(yīng)體系的能量供給方式低溫熱等離子體化學氣相沉積法具有氣相法的所有優(yōu)點，工藝流程簡單，與傳統(tǒng)CVD系統(tǒng)比較，生長溫度更低，管輝光均勻等效，薄膜均勻沉積。

詳細介紹

PECVD簡介

上海實驗室真空PECVD射頻模塊薄膜均勻沉積PECVD是借助于輝光放電等方法產(chǎn)生等離子體，輝光放電等離子體中：電子密度高109-1012cm3電子氣體溫度比普通氣體分子溫度高出10-100倍，使含有薄膜組成的氣態(tài)物質(zhì)發(fā)生化學反應(yīng)，從而實現(xiàn)薄膜材料生長的一種新的制備技術(shù)。

上海實驗室真空PECVD射頻模塊薄膜均勻沉積通過反應(yīng)氣態(tài)放電，有效地利用了非平衡等離子體的反應(yīng)特征，從根本上改變了反應(yīng)體系的能量供給方式低溫熱等離子體化學氣相沉積法具有氣相法的所有優(yōu)點，工藝流程簡單，與傳統(tǒng)CVD系統(tǒng)比較，生長溫度更低，管輝光均勻等效，薄膜均勻沉積。

上海實驗室PECVD射頻模塊薄膜均勻沉積

KT-PE150S 性能參數(shù)

型號	KT-PE150S	KT-PE500Z
信號頻率	13.56MHz±0.005%
功率輸出范圍	0-150W	0-500W
功率穩(wěn)定度	≤5W
最大反射功率	40W
射頻輸出接口	7/16,female 50 Ω
功率穩(wěn)定度	≤5W
匹配方式	手動調(diào)節(jié)匹配	500W自動匹配
耦合方式	電感式耦合
輝光壓力	≤30Pa
供電電壓	50/60Hz 220v±10%
整機效率	≥70%
冷卻方式	強制風冷
支持爐管直徑	φ25-φ80	φ25-φ150
感應(yīng)區(qū)	210mm
整機重量	48KG
整機尺寸:H x W x D(mm)	600 x 600x 1100