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桌面式高溫蒸鍍儀

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更新時(shí)間：2024-04-25 14:45:15瀏覽次數(shù)：71次

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鄭州科探儀器設(shè)備有限公司

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桌面式高溫蒸鍍儀，1800度高溫，觸摸屏控制，電動(dòng)自動(dòng)擋板保護(hù)樣品，工藝儲(chǔ)存操作簡(jiǎn)單

詳細(xì)介紹

桌面式高溫蒸鍍儀

小型蒸鍍儀是一種在真空條件下加熱蒸發(fā)容器中待蒸發(fā)材料的方法，以使原子或分子蒸發(fā)并從表面逸出以形成蒸氣流，進(jìn)入基材或基材表面，然后凝結(jié)成固體膜。

　　小型蒸鍍儀包括以下基本過程：

　?。?）加熱蒸發(fā)過程：包括從冷凝相變?yōu)闅庀嗟倪^程，并且每種蒸發(fā)物質(zhì)在不同溫度下具有不同的飽和蒸氣壓。

　?。?）氣態(tài)原子或分子在蒸發(fā)源和基質(zhì)之間的傳輸，即原子或分子在周圍大氣中的飛行過程。

　?。?）蒸發(fā)的原子或分子在基板表面上的沉積過程。即，蒸發(fā)，冷凝，成核，成核生長(zhǎng)，形成連續(xù)的膜。由于基材的溫度遠(yuǎn)低于蒸發(fā)源的溫度，因此氣態(tài)分子將直接經(jīng)歷從基材表面上的氣態(tài)到固態(tài)的相變過程。

特點(diǎn)
● 全自動(dòng)抽氣系統(tǒng)
● 旋轉(zhuǎn)樣品臺(tái)
● 菜單驅(qū)動(dòng)式“用戶"鍵盤輸入
● 快速釋放頭方便選擇不同的頭
● 約束的排氣控制

以下是不同真空度不同鍍膜時(shí)間鍍銅樣品圖

原樣品沒有鍍膜 115A 100秒機(jī)械泵

115A 100秒分子泵抽12分鐘 115A 120秒分子泵抽20分鐘

真空度越高越不易氧化越接近金屬本色

桌面式高溫蒸鍍儀KT-Z1650CVD

控制方式	7寸人機(jī)界面手動(dòng) 自動(dòng)模式切換控制
加熱方式	數(shù)字式功率調(diào)整器
鍍膜功能	0-999秒5段可變換功率及擋板位和樣品速度程序
功率	≤1200W
輸出電壓電流	電壓≤12V 電流≤120A
真空度	機(jī)械泵 ≤5Pa（5分鐘）分子泵≤10^-3Pa
擋板類型	電控
真空腔室	石英+不銹鋼腔體φ160mm x 160mm
樣品臺(tái)	可旋轉(zhuǎn)φ62 （可安裝φ50基底）
樣品臺(tái)轉(zhuǎn)速	8轉(zhuǎn)/分鐘
樣品蒸發(fā)源調(diào)節(jié)距離	70-140mm
蒸發(fā)溫度調(diào)節(jié)	≤1800℃
支持蒸發(fā)坩堝類型	鎢絲藍(lán) 帶坩堝鎢絲藍(lán) 鎢舟碳繩
預(yù)留真空接口	KF25抽氣口 KF16真空計(jì)接口 KF16放氣口 6mm卡套進(jìn)氣口
可選配擴(kuò)展	機(jī)械真空泵（可抽真空 5分鐘＜5Pa）數(shù)顯真空計(jì)（測(cè)量范圍大氣壓到0.1Pa）分子泵機(jī)組（可抽真空20分鐘≤5x10-3Pa）