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離子清洗機(jī)表面清洗中頻電源

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更新時(shí)間:2024-04-26 15:42:42瀏覽次數(shù):109次

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產(chǎn)品簡(jiǎn)介

離子清洗機(jī)表面清洗中頻電源,在真空腔體里,通過射頻電源在一定的壓力情況下起輝產(chǎn)生高能量的無序的等離子體,通過等離子體轟擊被清洗產(chǎn)品表面.以達(dá)到清洗目的

詳細(xì)介紹

離子清洗機(jī)表面清洗中頻電源

等離子體是物質(zhì)的一種存在狀態(tài),通常物質(zhì)以固態(tài)、液態(tài)、氣態(tài)三種狀態(tài)存在,但在一些特殊的情況下有第四種狀態(tài)存在,如地球大氣電離層中的物質(zhì)。等離子體狀態(tài)中存在下列物質(zhì):處于高速運(yùn)動(dòng)狀態(tài)的電子;處于激活狀態(tài)的中性原子、分子、原子團(tuán)(自由基);離子化的原子、分子;未反應(yīng)的分子、原子等,但物質(zhì)在總體上仍保持電中性狀態(tài)。等離子清洗/刻蝕機(jī)產(chǎn)生等離子體的裝置是在密封容器中設(shè)置兩個(gè)電極形成電場(chǎng),用真空泵實(shí)現(xiàn)一定的真空度,隨著氣體愈來愈稀薄,分子間距及分子或離子的自由運(yùn)動(dòng)距離也愈來愈長(zhǎng),受電場(chǎng)作用,它們發(fā)生碰撞而形成等離子體,這些離子的活性很高,其能量足以破壞幾乎所有的化學(xué)鍵,在任何暴露的表面引起化學(xué)反應(yīng),不同氣體的等離子體具有不同的化學(xué)性能,如氧氣的等離子體具有很高的氧化性

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離子清洗機(jī)表面清洗中頻電源KT-S2DQX-C

供電電源

AC220V(AC110V可選)

工作電流

整機(jī)工作電流不大于3.5A(不含真空泵)

射頻電源功率

150W

射頻頻率

13.56MHz

頻率偏移量

<0.2MHz

特性阻抗

50歐姆,手動(dòng)匹配

耦合方式

電容耦合

真空度

≤50Pa

腔體材質(zhì)

高純石英

腔體容積

Φ100mmX200mm

旋轉(zhuǎn)速度

20轉(zhuǎn)/分鐘

氣體流量

0—300ml/min

過程控制

觸摸屏自動(dòng)控制+手動(dòng)調(diào)節(jié)流量

清洗時(shí)間

手0-999秒

外形尺寸

615X390X560mm

重量

56Kg

真空室溫度

小于65°C

真空計(jì)量程

1E5Pa1E-1Pa(皮拉尼真空計(jì))

標(biāo)配

KF16真空管1米,kf16卡箍2個(gè),不銹鋼網(wǎng)匣1個(gè),電源線一根,說明書一本。
















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