小型真空探針臺(tái)高溫?zé)崤_(tái)KT-0904T-R主要用于為被測(cè)芯片提供一個(gè)高溫的變溫測(cè)量環(huán)境，以便測(cè)量分析溫度變化時(shí)芯片性能參數(shù)的變化。腔體內(nèi)被測(cè)芯片在真空環(huán)境中有效避免易受氧化半導(dǎo)體器件接觸空氣所帶來(lái)的測(cè)試結(jié)果誤差。

詳細(xì)介紹

小型真空探針臺(tái)高溫?zé)崤_(tái)KT-0904T-R

高溫?zé)o氧化測(cè)試：
當(dāng)晶圓加熱至300℃,400℃,500℃甚至更高溫度時(shí)，氧化現(xiàn)象會(huì)
越來(lái)越明顯，并且溫度越高氧化越嚴(yán)重。過(guò)度氧化會(huì)導(dǎo)致晶圓電性誤
差，物理和機(jī)械形變。避免這些需要把真空腔內(nèi)的氧氣在測(cè)試前用泵
抽走，并且保持整個(gè)測(cè)試過(guò)程泵的運(yùn)轉(zhuǎn)。晶圓測(cè)試過(guò)程中溫度在低溫和高溫中變換，因?yàn)闊崦浝淇s現(xiàn)象，定位好的探針與器件電極間會(huì)有相對(duì)位移，這時(shí)需要針座的重新定位，探針座位于腔體外部，可以在不破壞真空度的同時(shí)調(diào)整探針達(dá)到理想位置進(jìn)行測(cè)量。我們也可以選擇使用操作桿控制的自動(dòng)化針座來(lái)調(diào)整探針的位置。

小型真空探針臺(tái)高溫?zé)崤_(tái)KT-0904T-RL參數(shù)

真空腔體
類型	加熱型350℃ 或者加熱制冷型室溫到350℃ 室溫到-190℃
腔體材質(zhì)	304不銹鋼
腔體內(nèi)尺寸	φ90x40mm
腔體上視窗尺寸	Φ42mm（選配凹視窗Φ22mm）
腔體抽氣口	KF16
腔體進(jìn)氣口	公制3mm 6mm氣管接頭英制1/8mm 1/4mm 氣管接頭可選
腔體出氣口	公制3mm 6mm氣管接頭英制1/8mm 1/4mm 氣管接頭可選
腔體正壓	≤0.05MPa
腔體真空度	機(jī)械泵≤5Pa （5分鐘）分子泵≤5E-3Pa（30分鐘）
樣品臺(tái)
樣品臺(tái)材質(zhì)	304不銹鋼
樣品臺(tái)尺寸	26X26mm
樣品臺(tái)-視窗距離	30mm（可選凹視窗間距15mm）
樣品臺(tái)測(cè)溫傳感器	A 級(jí)PT100鉑電阻
樣品臺(tái)溫度	室溫到350℃（可選高低溫樣品臺(tái) 高溫350℃低溫-190℃）
樣品臺(tái)測(cè)溫誤差	±0.2℃
樣品臺(tái)變溫速率	高溫10℃/min 低溫5℃/min 值
溫控儀
溫度顯示	7寸人機(jī)界面
溫控類型	標(biāo)準(zhǔn)PID溫控 +自整定（可選30段編程控溫）
溫度分辨率	0.1℃
溫控精度	±0.5℃
溫度信號(hào)輸入類型	PT100熱電阻（可選 K S B型熱電偶）
溫控輸出	直流線性電源加熱（液氮流量線性控制液氮制冷）
輔助功能	溫度數(shù)據(jù)采集并導(dǎo)出實(shí)時(shí)溫度曲線+歷史溫度曲線
探針
電信號(hào)接頭	配線轉(zhuǎn)接 BNC接頭 BNC三同軸接頭 SMA 接頭香蕉插頭線長(zhǎng)1.2米
電學(xué)性能	絕緣電阻 ≥4000MΩ 介質(zhì)耐壓 ≤200V 電流噪聲 ≤10pA
探針數(shù)量	4探針（可定做6探針）
探針材質(zhì)	鍍金鎢針
探針尖	10μm
探針移動(dòng)平臺(tái)
X軸移動(dòng)行程	12mm ±6mm
X軸控制精度	≤5μm
Y軸移動(dòng)行程	12mm ±6mm
Y軸控制精度	≤5μm
Z軸移動(dòng)行程	12mm ±6mm
Z軸控制精度	≤5μm
數(shù)碼顯微鏡
顯微鏡類別	物鏡放大+電子放大
顯微鏡放大倍數(shù)	100倍
顯微鏡工作間距	50-150mm
相機(jī)分辨率	1080P 60幀
相機(jī)信號(hào)輸出	HDMI輸出+USB輸出
LED可調(diào)光源	LED光源
顯示屏	5寸屏幕一體機(jī)