叉指微電極因其微小的電極間距結(jié)構(gòu)可用于各種小型化傳感器。對(duì)于傳統(tǒng)分析檢測(cè)，包括色譜法、光譜法、質(zhì)譜等方法，大多都需要昂貴的儀器和多種操作步驟，使得許多實(shí)際問題仍面臨困難。開發(fā)高靈敏度、低成本，小型化的傳感器尤為重要。微電容單通道叉指電*低溫探針臺(tái)KT-Z4019MRL4T是一款專門用于叉指電極的經(jīng)濟(jì)型探針臺(tái)。可高溫400℃低溫-196℃ 測(cè)試噪聲小于5E-13A 可擴(kuò)展上下雙透視窗口。

詳細(xì)介紹

叉指微電極因其微小的電極間距結(jié)構(gòu)可用于各種小型化傳感器。對(duì)于傳統(tǒng)分析檢測(cè)，包括色譜法、光譜法、質(zhì)譜等方法，大多都需要昂貴的儀器和多種操作步驟，使得許多實(shí)際問題仍面臨困難。開發(fā)高靈敏度、低成本，小型化的傳感器尤為重要。本文綜述了叉指微電極的研究進(jìn)展，介紹了基于叉指微電極的傳感器在各領(lǐng)域的廣泛應(yīng)用。

小型真空探針臺(tái)鄭科探 KT-Z4019MRL4T是一款高性價(jià)比配置的真空高低溫探針臺(tái)，功能，價(jià)格較低等特點(diǎn)。高溫400℃ 低-196℃ 測(cè)試噪聲小于5E-13A 可擴(kuò)展上下雙透視窗口用于光電測(cè)試可擴(kuò)展凹視鏡。公司致力于各類探針臺(tái)，（包括手動(dòng)與自動(dòng)探針臺(tái)、雙面探針臺(tái)、真空探針臺(tái)、）、顯微鏡成像、光電一體化的技術(shù)研發(fā)，擁有國(guó)內(nèi)專業(yè)的技術(shù)研發(fā)團(tuán)隊(duì)，在探針臺(tái)電學(xué)量測(cè)方面擁有近十年的經(jīng)驗(yàn)團(tuán)隊(duì)。

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微電容單通道叉指電*低溫探針臺(tái)

微電容單通道叉指電*低溫探針臺(tái)KT-Z4019MRL4T

真空腔體
類型	高溫型室溫到400℃	高低溫型室溫到400℃ 室溫到-196℃
腔體材質(zhì)	304不銹鋼 6061鋁合金可選
腔體內(nèi)尺寸	127mmX57mmX20mm
腔體外尺寸	150mmX80mmX32mm
腔體重量	不銹鋼材質(zhì) 約1.5KG 鋁合金材質(zhì) 約0.5KG
腔體上視窗尺寸	Φ42mm（可選配凹視窗用于減少窗口和樣品之間距離）
腔體抽氣口	KF16法蘭（其余接口規(guī)格可轉(zhuǎn)接）
腔體真空測(cè)量口	KF16法蘭（其余接口規(guī)格可轉(zhuǎn)接）
腔體進(jìn)氣口	6mm快擰或 6mm快插
腔體冷卻方式	腔體水冷+上蓋氣冷
腔體水冷接口
腔體正壓	≤0.05MPa
腔體真空度	機(jī)械泵≤5Pa （5分鐘）分子泵≤5E-3Pa（30分鐘）
樣品臺(tái)
樣品臺(tái)材質(zhì)	不銹鋼銀銅合金純銀塊	銀銅合金純銀塊
樣品臺(tái)尺寸	26x26mm
樣品臺(tái)加熱方式	電阻加熱	電阻加熱液氮制冷
樣品臺(tái)-視窗距離	11mm（可選配凹視窗用于減少窗口和樣品之間距離到6mm）
樣品臺(tái)測(cè)溫傳感器	PT100型熱電阻
樣品臺(tái)溫度	室溫到400℃	室溫到400℃ 室溫到-196℃
樣品臺(tái)測(cè)溫誤差	±0.5℃
樣品臺(tái)升溫速率	高溫100℃/min 值低溫7℃/min
溫控儀
溫度顯示	7寸人機(jī)界面
溫控類型	標(biāo)準(zhǔn)PID溫控 +自整定
溫度分辨率	0.1℃
溫控精度	±0.5℃
溫度信號(hào)輸入類型	PT100 （可選K S B型熱電偶）
溫控輸出	直流線性電源加熱	直流線性電源加熱+液氮流速控制器
輔助功能	溫度數(shù)據(jù)采集并導(dǎo)出實(shí)時(shí)溫度曲線+歷史溫度曲線可擴(kuò)展真空讀數(shù)接口
溫控器尺寸	32cmX170cmX380cm
溫控器重量	約5.6KG
探針
電信號(hào)接頭	配線轉(zhuǎn)接 BNC接頭 BNC三同軸接頭 SMA 接頭香蕉插頭線長(zhǎng)1.2米
電學(xué)性能	絕緣電阻 ≥4000MΩ 介質(zhì)耐壓 ≤200V 電流噪聲 ≤10pA
探針數(shù)量	4探針（可擴(kuò)展5探針）
探針材質(zhì)	鍍金鎢針（其他材質(zhì)可選）
探針尖	10μm
手動(dòng)探針移動(dòng)平臺(tái)
X軸移動(dòng)行程	20mm ±10mm（需手動(dòng)推動(dòng)滑臺(tái)）
X軸控制精度	≥500μm
R軸移動(dòng)行程	120° ±60°（需手動(dòng)旋轉(zhuǎn)探針桿）
R軸控制精度	≥500μm
Z軸移動(dòng)行程	2mm ±1mm
Z軸控制精度	≤50μm（需手動(dòng)螺紋調(diào)節(jié)探針桿）